MEMS設計解析支援システム(<特集>「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
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概要
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The CAE system for the MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems), plays a very important role to research and development. In the field of micro systems, the motion of the mechanical parts is strongly affected by their surface and air between parts. To simulate the motion of these parts and the performance of designed micro systems, the multi physics phenomenon should be solved simultaneous-ly. In this paper, I show the effect of air for the deflection of doubly supported micro membrane actuated by electric force and a series of equation is presented. I also presented fluid flow in the micro channel driven by the peristaltic pump as another example of the simulation results. For the MEMS researcher and engineer, a new computer aided engineering system, MEMS-One, is under constructed.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2005-11-01
著者
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