1100 マイクロシステムの現状と今後の展開(キーノートスピーチ,マイクロメカトロニクス)
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概要
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MEMS (Micro Elecro-Mechanical Systems)に関する研究は1990年代にその基礎的な加工方法および原理研究が盛んに行われ,現在では多くの機能を集積化した集積化MEMSやMEMSの応用分野としてのマイクロTAS (Total Analysis Systems)に関する研究が盛んに行われている.本講演では,MEMSの現状と今後の展開に関して,研究事例も交えて述べる.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-21
著者
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