PZT薄膜/SUSユニモルフアクチュエータの開発およびマイクロポンプへの応用

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概要

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• 2005-06-22

著者

• 神野 伊策

  京都大学

• 小寺 秀俊

  京都大学

• 鈴木 孝明

  京都大学

• 鈴木 孝明

  香川大学

• 秦 秀敏

  京都大学

• 長尾 昂

  京都大学

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