T1601-2-4 多層膜材へのナノインプリントによる三次元構造の作製(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))
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概要
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We investigate multi-layered thermal nanoimprint to fabricate 3D-structure. In multi-layered imprinting, the relation between imprint condition and fabricated structure has not been discussed experimentally. In this report, we discuss simple bi-layer imprint experimentally. Bi-layer PMMA resist coated two type molecular weight polymers is pressed in some conditions and observed cross-sectional images. As a result, imprinted structure is affected pressure force and pattern width.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
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