5506 微小領域における温度勾配生成デバイスの創製(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
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概要
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A precise control of various fields is required on local field. The thermal field, that is one of the most general fields, is commonly used, but it is difficult to precise control of the thermal field in local field, because of very small thermal capacity of the micro device. Then, we propose the device for larger thermal gradient and fast response, which has great heat liberation and small heat transfer coefficient. Using MEMS process, this device has TaN heat wear on 6μm SiO_2 membrane. In the experiment, our device achieved the fast response unless 0.2s and thermal gradient over 20℃ between the interval of 250μm.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
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