ZnO薄膜を用いたマイクロカンチレバー型アクチュエータ

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概要

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• 1998-10-23

著者

• 小寺 秀俊

  京大

• 高山 良一

  松下電器産業(株)先行デバイス開発センター

• 島 進

  京大工

• 守山 善也

  京大

• 神野 伊策

  松下電器(株)

• 高山 良一

  松下電器(株)

• 島 進

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