5517 圧電薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの研究(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
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概要
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We fabricated a deformable MEMS mirror for adaptive optics. A PZT (Pb (Zr, Ti) O_3) thin film was grown on a (111) Pt/Ti/SOI substrate by RF-sputtering. The Si substrate was etched out up to the buried oxide layer to fabricate a circular membrane. We optimized the design of the upper electrodes using numerical analysis. The size of diaphragm is 15mm in diameter and 22μm thick. Mirror surface whose active area is 8mm in diameter was prepared on the exposed buried oxide layer. We calculated influence function for generating Zernike modes, and observed the deformation of the mirror using a laser Doppler vibrometer. The measurements revealed that the Zernike modes to 7^<th> terms were generated within the residual of 10〜20%.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
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