微小アクチュエータを用いた可変位相差方式形状計測法(マイクロメカトロニクス,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
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概要
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The geometry measurement method that changes a phase by a part of reflective mirror precise movement is proposed, and is applied for the phase difference microscope system. Using this principle, the variable phase-contrast microscope that can measure nano-micro meter size geometry at high speed and high precise is examined. For this purpose, a silicon mirror with height differences was fabricated and the optical system using the device with the piezo-electric actuator was configured. Using this system, the principle of the nano-micro meter size geometry measurement was confirmed.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-03-22
著者
-
大平 文和
香川大学
-
石丸 伊知郎
香川大学
-
秦 清治
香川大学
-
兵頭 亮治
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
大平 文和
香川大
-
林 明宏
香川大
-
秦 清治
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
石丸 伊知郎
香川大
-
南 将夫
香川大
-
秦 清治
香川大
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