生体高分子電気計測のためのナノプローブの開発(<特集>半導体・エレクトロニクス)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• We have developed new micromachined opposing nano probes for electrical measurement of biomolecules. Since comb-drive micro actuators were integrated and connected to the nano probes electrically isolated from silicon piece, it will enables us to measure electro-mechanical characteristics of a biomolecule such as piezoelectricity. The probe structure was defined by etching of a 25 [μm]-thick silicon-on-insulator wafer (SOI) using an inductively coupled plasma reactive ion etching apparatus (ICP-RIE). To obtain the tip radius of less than 10 [nm] and to align two probe tips, new process sequence was designed by combining wet anisotropical etching of silicon with the ICP-RIE. Another type with probes directing outward was also developed.

• 2003-12-15

著者

• 橋口 原

  香川大学工学部

• 橋口 原

  静岡大学

• 大平 文和

  香川大学工学部

• 浅尾 文善

  香川大学

• 三原 豊

  香川大学工学部

• 合田 拓史

  香川大学工学部知能機械システム工学科

• 三原 豊

  香川大学工学部材料創造工学科

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• 浅尾 文善

  香川大学工学部知能機械システム工学科

関連論文

• 314 櫛歯アクチュエータを用いた接触センシングプローブの開発(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 5513 原子間力顕微鏡(AFM)プローブ機能付き4端子プローブの開発(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
• 新型光源への応用を目指した新しいグラファイトフィールドエミッタの開発
• 新型光源への応用を目指した新しいグラファイトフィールドエミッタの開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
• マイクロマシンツールを用いたDNA計測システム
• 1120 MEMSピンセットを用いたHBCナノチューブの捕獲(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 光音響法に基づいたCaF_2レンズ透過率計測における内部残留応力の影響とそれによる極紫外光の吸収モデル
• 1B16-2 ナノリッターチャンバーアレイを用いた一細胞PCRと遺伝子検出(醸造学,醸造工学/センサー・計測工学,ロボット工学/生体情報工学(バイオインフォマティクス),一般講演)
• マイクロマニピュレータの相対位置姿勢同時計測技術
• ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
• 櫛歯振動子用カリウムイオン含有シリコン酸化物エレクトレット
• SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
• 櫛歯アクチュエータの横振動励起とその応用
• 2116 SiO_2皮膜の金電極を有するAFMプローブの開発(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 2115 コムドライブアクチュエータを用いた変位計測(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• Siの結晶異方性エッチングを利用した高アスペクト比角柱形状形成技術
• 1110 CWDMシステムのための金型技術を用いたAWGの製作(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 1111 Siの異方性エッチングを利用した高アスペクト比形状形成技術(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 1112 半導体レーザビームの形状整形用マイクロコリメータレンズの製作(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 1122 干渉縞方式による2次元アレイSPMシステム(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 1106 ナノワイヤの電気機械計測 : Pdナノ粒子で修飾されたlambda-DNAワイヤの特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 化学吸着単分子膜を利用したマイクロレンズアレイ製作法
• 5516 パラレルナノイメージング用光干渉縞型マルチプローブ(J19-3マイクロメカトロニクス(3),J19マイクロメカトロニクス)
• C-3-36 Risley光偏向器を用いたフリースペース型光スイッチモジュール(第二報)(C-3. 光エレクトロニクス(光スイッチ), エレクトロニクス1)
• Risley光偏向器を用いた大規模光スイッチ(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
• Risley光偏向器を用いた大規模光スイッチ(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
• Risley光偏向器を用いた大規模光スイッチ(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
• Risley光偏向器を用いた大規模光スイッチ(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
• C-3-57 Risley光偏向器を用いたフリースペース型光スイッチモジュール(光モジュール)(C-3.光エレクトロニクス)
• Narrow Gap DNA ナノピンセットの作製
• T1601-1-6 静電型MEMSオシレータの周波数ゆらぎに関する影響の考察(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
• T0302-2-4 MEMS振動子を用いた昇圧素子(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
• フォトリソ技術によるマイクロ金型とこれを用いた微小部品(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)
• Ti超塑性合金を用いたマイクロ金型の製造技術
• 3C12-1 新規AFMプローブによる染色体のマニュピレーション(遺伝子工学・核酸工学,一般講演)
• チタン合金の超塑性鍛造によるマイクロ金型の製造
• パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
• プローブナノリソグラフィーによる単電子トランジスタの開発
• J0201-2-1 ワクチン投与用剣山形マイクロ微小針の製造に関する検討(ドラッグデリバリーシステムとその周辺技術の基礎と展開(2))
• ナノテクノロジーとナノバイオへの応用
• [招待論文]半導体マイクロマシーニング技術のナノ・バイオテクノロジーへの展開(非線形回路とシステム,及び一般)
• [招待論文]半導体マイクロマシーニング技術のナノ・バイオテクノロジーへの展開(非線形回路とシステム,及び一般)
• ナノテクノロジーへの応用
• 香川大学工学部 知能機械システム工学科造形工学講座 橋口研究室
• 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
• 日本唯一のアルミニウム製造工場 : 膨大な電力を必要とするアルミナ製造・電解製錬
• 光通信分野におけるマイクロメカトロニクス技術
• 2117 交流ブリッジ回路による櫛歯アクチュエータの駆動とそのセンサ応用(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
• 知能メカトロニクス専門委員会　知能メカトロニクス専門委員会研究レビュー
• 生体単分子捕獲のためのマイクロデバイス作製と検討
• マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
• MEMS等価回路ジェネレータの開発
• マイクロメカトロニクス技術の光・バイオ分野への応用(K25 情報・知能・精密機器部門企画)
• マイクロ化技術の光分野への応用
• マイクロメカニズムの研究開発動向 : 光マイクロシステムテクノロジーについて
• 1124 コムドライブアクチュエータを用いたAFMシステムに関する研究(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• アレーベア光ファイバーの一括端面加工
• シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
• Application of Vertical Comb-Drive MEMS Mirror for a Phase Shift Device
• Multi-Probe SPM using Interference Patterns for a Parallel Nano Imaging
• Detection of Label-Free T4-DNA Molecules Using SPR Technique(Plasmonics and Nanophotonics,Microoptomechatronics)
• マイクロ金型を用いたキャスティング法による低密度波長分割多重用アレイ導波路回折格子に関する研究(第一報) : −アレイ導波路回折格子製作方法の検討−
• 2826 櫛歯アクチュエータの電子素子表現と自励発振回路解析への応用(S08-1 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(1),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 1123 AFMピンセットシステムの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 5503 ナイフ形状プローブを用いた有機レジストのパターニング(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
• 1109 ナノ物質操作の為のAFMピンセットの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• AFMピンセットによるナノマニピュレーション技術に関する研究
• ナノ物質のマニピュレーションを行う為のAFMピンセットの開発
• Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Drive Actuator by Admittance Measurement
• マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
• Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
• In situ Visualization of Degradation of Silicon Field Emitter Tips
• Electrical Conductivity of Lambda DNA-Pd Wire
• マイクロマシーニング技術による熱型アクチュエーター体型マイクログリッパーの作成とその動作特性 (第6回 知能メカトロニクスワークショップ--人間を支援するメカトロニクス技術) -- (特別セッション マイクロシステム1)
• 微量血液検査システムのための微小注射針の作製
• 【マイクロ/ナノシステム研究専門委員会】　マイクロ/ナノシステム研究専門委員会活動レビュー
• 3247 赤外透過光量による溶液成分濃度解析
• 3246 FTIR による混合溶液の濃度解析
• 538 マイクロキャピラリの製造方法とその機械強度評価
• 3241 ウェアラブル聴診器のためのワイヤレス Si コンデンサーマイクロフォン
• 微小異物付着力計測のためのマイクロピンセットに関する研究(マイクロメカトロニクス,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
• 生体高分子電気計測のためのナノプローブの開発(半導体・エレクトロニクス)
• 24・3 機械・電気モデリング(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 24・3 集積化MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製
• マイクロ金型を用いたキャスティング法による低密度波長分割多重用アレイ導波路回折格子に関する研究（第二報） : —アレイ導波路回折格子製作方法の改良および分波特性評価—
• W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
• 櫛歯振動子への酸化物エレクトレット形成に関する検討
• T1601-1-2 MEMS振動子の白色雑音応答解析([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
• MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)
• B-1 ナノサイズプローブ先端の電気的コンタクト特性(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
• MNM-P11-1 自己回帰モデルによるMEMS振動子パラメータ抽出法の提案(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
• P-1 MEMS型静電アクチュエータ用Test Element Gridの検討(ポスター要旨講演)
• P-2 カリウムイオン含有シリコン酸化物エレクトレット(ポスター要旨講演)
• 4.マイクロテクノロジーのナノ・バイオへの適用(医用生体バイオ工学 : マイクロテクノロジーの開花へ向けて)
• 101 マイクロマシン技術で作るナノ構造とその応用(M&Mのニューアスペクト)
• J161014 マイクロ空間が細胞の増殖性に与える影響([J16101]マイクロナノメカト口ニクス(1))
• 埋め込み型エレクトレットに於ける帯電過程のその場観察と高電圧帯電に関する検討

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク