マイクロ金型を用いたキャスティング法による低密度波長分割多重用アレイ導波路回折格子に関する研究(第一報) : −アレイ導波路回折格子製作方法の検討−
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概要
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We proposed a fabrication process of an Arrayed Waveguide Grating (AWG) by a casting method using a micro die for the low cost Wavelength Division Multiplexing (WDM) system. We designed and made an optical simulation of the wavelength demultiplexing for the AWG. In order to fabricate the AWG with low cost and high accuracy, we proposed the fabrication process of the micro die by the electro-plating after fabricating the mother shape. We proposed the fabrication process of the mother shape using the SU-8 resist which is the negative resist. By using SU-8 resist, the high cost fabrication process using the dry etching equipments can be deleted. We fabricated the AWG with an UV cure material using the fabricated micro die. As the result, it has become possible to fabricate the AWG with low cost.
- 社団法人 精密工学会の論文
著者
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大平 文和
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
鈴木 孝明
香川大学工学部知能機械システム工学科
-
大平 文和
香川大
-
大平 文和
香川大学工学部
-
鈴木 孝明
香川大
-
小川 一文
松下電器中央研究所
-
小川 一文
香川大学工学部材料創造工学科
-
三原 豊
香川大学工学部
-
岡田 和志
香川大学大学院博士後期課程知能機械システム工学専攻
-
渡邉 英応
香川大学工学部
-
小川 一文
香川大学工学部
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical Systems Engineering Kagawa University
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical Systems Engineering Faculty Of Engineering Kagawa University
-
鈴木 孝明
香川大学工学部
-
Suzuki Takaaki
Department of Intelligent Mechanical System Engineering, Kagawa University
-
鈴木 孝明
Department of Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kagawa University
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