P-MCH-02 Fabrication of High Aspect Ratio Micro-Structures Using Supercritical Drying Technology(Micro/Nanomechatronics,Technical Program of Poster Session)
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概要
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In this study, we fabricated high the micro-structures of aspect ratio made of silicon or thick photoresist SU-8 using the supercritical drying technology. Form the result of silicon micro-structure fabrication, it was confirmed that the micro-structures having the high aspect ratio of 1000 can be fabricated without sticking. Further, from hand the result of SU-8 micro-structure fabrication, it was confirmed that the residual of SU-8 in the channel was flowed to the openings due to the effect of supercritical drying.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-06-17
著者
-
鈴木 孝明
香川大
-
Oohira Fumikazu
Intelligent Mechanical Systems Engineering Kagawa University
-
Ootani Norifumi
Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kagawa University
-
Suzuki Takaaki
Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kagawa University
-
Kadoriku Satoru
RyuSyo Industrial Co., Ltd.
-
Kadoriku Satoru
Ryusyo Industrial Co. Ltd.
-
Ootani Norifumi
Intelligent Mechanical Systems Engineering Kagawa University
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Suzuki Takaaki
Intelligent Mechanical Systems Engineering Kagawa University
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical Systems Engineering Kagawa University
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical Systems Engineering Faculty Of Engineering Kagawa University
-
鈴木 孝明
香川大学工学部
-
Suzuki Takaaki
Department of Intelligent Mechanical System Engineering, Kagawa University
-
鈴木 孝明
Department of Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kagawa University
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