PRE-03 Magnetic Actuation Type Low Cost Polymer MEMS Mirror Fabricated by Photolithography Technology(MM/Micro/Nano Precision Equipments II,Technical Program of Oral Presentations)
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概要
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This paper reports the lower cost mirror device composed of the inexpensive glass and the polymer material. This device is a new construction composed of the glass as the substrate and the polymer as the torsion bar. The polymer mirror containing the magnetic particles is used. The device can be fabricated only by the photolithography technology. We adopted the actuation system which attracts the mirror directly with the electromagnet. We fabricated the large-sized mirror (20mm×10mm) device of one axis deflection and evaluated the characteristics of the fabricated mirror device. Then, we confirmed the performance of large deflection angle which was larger compared with the conventional device in the deviation angle. As the result, we confirmed the possibility to realize the magnetic actuation type low cost polymer MEMS mirror.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-06-17
著者
-
鈴木 孝明
香川大
-
SUZUKI Takaaki
Department of Pediatric Cardiac Surgery, Saitama International Medical Center Saitama Medical Univer
-
Oohira Fumikazu
Department of I.M.S.E, Kagawa University
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Suzuki Takaaki
Department Of Dermatology Kobe University School Of Medicine
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Oohira Fumikazu
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
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Oohira Fumikazu
Department Of Intelligent Mechanical System Engineering Kagawa University
-
Nakano Tetsuro
Department of Intelligent Mechanical System Engineering, Kagawa University
-
Hasiguti Gen
Research Institute of Electronics, Shizuoka University
-
Hasiguti Gen
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
Nakano Tetsuro
Department Of Intelligent Mechanical System Engineering Kagawa University
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Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical System Engineering Kagawa University
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical Systems Engineering Kagawa University
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical Systems Engineering Faculty Of Engineering Kagawa University
-
鈴木 孝明
香川大学工学部
-
Suzuki Takaaki
Department of Applied Physics, Tokyo University of Science, 1-3 Kagurazaka, Shinjuku-ku, Tokyo 162-8610, Japan
-
Suzuki Takaaki
Department of Intelligent Mechanical System Engineering, Kagawa University
-
鈴木 孝明
Department of Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kagawa University
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