MP-48 磁性ナノ粒子含有レジストを用いたマイクロ駆動素子の流路内作製方法(ポスターセッション)
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概要
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Nanocomposite made of photoresist and functional nanoparticles has been greatly expected to active micro components for micro/nano systems made by photolithography only. In this study, we propose an in situ microfabrication method for active microcomponents for microfluidic systems. A sacrifical layer made of a positive photoresist, and nanocomposite made of a negative photoresist and magnetic particles are sequentially infused into a PDMS microchannel. Then, the sacrificial layer and the nanocomposite are directly exposed by UV light through a transparent microchannel wall and developed by dipping in a developer having an effect on both photoresists. So, the active components in the microchannels are simply fabricated without the assembly process.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
-
鈴木 孝明
静岡県立こども病院小児外科
-
大平 文和
香川大
-
鈴木 孝明
香川大
-
鈴木 孝明
NHK放送技術研究所
-
Suzuki Takaaki
Department Of Intelligent Mechanical System Engineering Kagawa University
-
寺尾 京平
香川大 工
-
高尾 英邦
香川大学
-
細川 祐揮
香川大
-
下川 房男
香川大学
-
中原 佐
香川大
-
高尾 英邦
香川大
-
寺尾 京平
香川大
-
下川 房男
香川大
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