Application of Vertical Comb-Drive MEMS Mirror for a Phase Shift Device
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have proposed a vertical comb-drive MEMS mirror which can be applied for a spectrometer with a phase-shifting method, and fabricated the mirror device using the micro fabrication technology. The configuration of the MEMS mirror was designed with three vertical electrostatic comb-drive actuators and hinges at the periphery of the mirror. In the proposed spectrometer, the phase of the light which is reflected at the movable mirror is changed, and the interferogram is obtained by the movable mirror which is driven precisely. We evaluated the moving characteristics of the fabricated MEMS mirror and confirmed that the MEMS mirror could be driven vertically to about 23μm and also could be tilted. Using this MEMS mirror, we configured the spectrometer with a source of monochromatic light (λ= 405 nm), and evaluated the spectroscopic characteristic in principle. Then, we have confirmed that the fabricated MEMS mirror can be applied to the spectrometer with the phase-shifting method.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2008-06-01
著者
-
橋口 原
静岡大学
-
Kondo Masahiro
Department Of Molecular Physiology Tokyo Metropolitan Institute For Neuroscience
-
Oohira Fumikazu
Department of I.M.S.E, Kagawa University
-
Hosogi Maho
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
Oohira Fumikazu
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
INOUE Daisuke
Department of I. M. S. E., Kagawa University
-
YAMAMOTO Kazuya
Department of I. M. S. E., Kagawa University
-
HARADA Takaki
Department of I. M. S. E., Kagawa University
-
ISHIMARU Ichirou
Department of I. M. S. E., Kagawa University
-
HASHIGUCHI Gen
Research Institute of Electronics Shizuoka University
-
Kondo Masahiro
Department Of Earth And Space Science Osaka University
-
Kondo Masahiro
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
橋口 原
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
Harada Takaki
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
Ishimaru Ichirou
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
Yamamoto Kazuya
Department Of Angiology And Cardiology Kitasato University Graduate School Of Medical Sciences
-
Yamamoto Kazuya
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
Inoue Daisuke
Department Of I. M. S. E. Kagawa University
-
INOUE Daisuke
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
-
KONDO Masahiro
Department of Basic Veterinary Sciences, The United Graduate School of Veterinary Sciences, Gifu University
関連論文
- 314 櫛歯アクチュエータを用いた接触センシングプローブの開発(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 5513 原子間力顕微鏡(AFM)プローブ機能付き4端子プローブの開発(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
- 新型光源への応用を目指した新しいグラファイトフィールドエミッタの開発
- 新型光源への応用を目指した新しいグラファイトフィールドエミッタの開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- マイクロマシンツールを用いたDNA計測システム
- 1120 MEMSピンセットを用いたHBCナノチューブの捕獲(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 1B16-2 ナノリッターチャンバーアレイを用いた一細胞PCRと遺伝子検出(醸造学,醸造工学/センサー・計測工学,ロボット工学/生体情報工学(バイオインフォマティクス),一般講演)
- マイクロマニピュレータの相対位置姿勢同時計測技術
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- 櫛歯振動子用カリウムイオン含有シリコン酸化物エレクトレット
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- 櫛歯アクチュエータの横振動励起とその応用
- 2116 SiO_2皮膜の金電極を有するAFMプローブの開発(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 2115 コムドライブアクチュエータを用いた変位計測(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- Siの結晶異方性エッチングを利用した高アスペクト比角柱形状形成技術
- 1110 CWDMシステムのための金型技術を用いたAWGの製作(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 1111 Siの異方性エッチングを利用した高アスペクト比形状形成技術(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 1112 半導体レーザビームの形状整形用マイクロコリメータレンズの製作(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 1122 干渉縞方式による2次元アレイSPMシステム(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 1106 ナノワイヤの電気機械計測 : Pdナノ粒子で修飾されたlambda-DNAワイヤの特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 化学吸着単分子膜を利用したマイクロレンズアレイ製作法
- 5516 パラレルナノイメージング用光干渉縞型マルチプローブ(J19-3マイクロメカトロニクス(3),J19マイクロメカトロニクス)
- Narrow Gap DNA ナノピンセットの作製
- Proposal of high-density packaging construction and conductive pattern forming method on vertical wall using spray coating technology
- T1601-1-6 静電型MEMSオシレータの周波数ゆらぎに関する影響の考察(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
- T0302-2-4 MEMS振動子を用いた昇圧素子(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- フォトリソ技術によるマイクロ金型とこれを用いた微小部品(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)
- Ti超塑性合金を用いたマイクロ金型の製造技術
- 3C12-1 新規AFMプローブによる染色体のマニュピレーション(遺伝子工学・核酸工学,一般講演)
- チタン合金の超塑性鍛造によるマイクロ金型の製造
- パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
- プローブナノリソグラフィーによる単電子トランジスタの開発
- ニホンザル卵巣における神経成長因子(NGF)、およびレセプター(trkA、p75LNGFR)の局在
- Proposal of High-Density Packaging Construction and Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall Using Spray Coating Technology
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- 日本唯一のアルミニウム製造工場 : 膨大な電力を必要とするアルミナ製造・電解製錬
- Management of and prophylaxis against status epilepticus in children with severe myoclonic epilepsy in infancy (SMEI ; Dravet syndrome) - A nationwide questionnaire survey in Japan
- A pilot study on the changes in immunity after ACTH therapy in patients with West syndrome
- 2117 交流ブリッジ回路による櫛歯アクチュエータの駆動とそのセンサ応用(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 生体単分子捕獲のためのマイクロデバイス作製と検討
- マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
- MEMS等価回路ジェネレータの開発
- 1124 コムドライブアクチュエータを用いたAFMシステムに関する研究(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- Autoimmune-associated hemophagocytic syndrome
- PRE-03 Magnetic Actuation Type Low Cost Polymer MEMS Mirror Fabricated by Photolithography Technology(MM/Micro/Nano Precision Equipments II,Technical Program of Oral Presentations)
- Application of Vertical Comb-Drive MEMS Mirror for a Phase Shift Device
- Multi-Probe SPM using Interference Patterns for a Parallel Nano Imaging
- Detection of Label-Free T4-DNA Molecules Using SPR Technique(Plasmonics and Nanophotonics,Microoptomechatronics)
- PRE-K APPLICATIONS OF MICRO-NANO TECHNOLOGIES FOR OPTICAL AND BIOLOGICAL FIELDS(MM/Micro/Nano Precision Equipments I,Technical Program of Oral Presentations)
- 2826 櫛歯アクチュエータの電子素子表現と自励発振回路解析への応用(S08-1 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(1),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 1123 AFMピンセットシステムの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 5503 ナイフ形状プローブを用いた有機レジストのパターニング(J19-1 マイクロメカトロニクス(1),J19 マイクロメカトロニクス)
- 1109 ナノ物質操作の為のAFMピンセットの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- AFMピンセットによるナノマニピュレーション技術に関する研究
- ナノ物質のマニピュレーションを行う為のAFMピンセットの開発
- Experimental and Theoretical Considerations of Polarization Field Direction in Semipolar InGaN/GaN Quantum Wells
- Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Drive Actuator by Admittance Measurement
- マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
- Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
- In situ Visualization of Degradation of Silicon Field Emitter Tips
- Electrical Conductivity of Lambda DNA-Pd Wire
- ISCHEMIC PRECONDITIONING IMPROVES GLUTATHIONE STRESS AGAINST ISCHEMIA-REPERFUSION INJURY IN RAT HEARTS.
- マイクロマシーニング技術による熱型アクチュエーター体型マイクログリッパーの作成とその動作特性 (第6回 知能メカトロニクスワークショップ--人間を支援するメカトロニクス技術) -- (特別セッション マイクロシステム1)
- 微量血液検査システムのための微小注射針の作製
- Influence of nifedipine coat-core and amlodipine on systemic arterial stiffness modulated by sympathetic and parasympathetic activity in hypertensive patients
- Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit
- 3247 赤外透過光量による溶液成分濃度解析
- 3246 FTIR による混合溶液の濃度解析
- Microcalorimetric Study of Aqueous Solution of a Thermoresponsive Polymer, poly (N-vinylisobutyramide) (PNVIBA)
- 538 マイクロキャピラリの製造方法とその機械強度評価
- 3241 ウェアラブル聴診器のためのワイヤレス Si コンデンサーマイクロフォン
- Distribution of glycine transporter 2 mRNA-containing neurons in relation to glutamic acid decarboxylase mRNA-containing neurons in rat medulla
- High resolution X-ray computed tomographic (CT) images of chondrites and a chondrule
- 微小異物付着力計測のためのマイクロピンセットに関する研究(マイクロメカトロニクス,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
- 生体高分子電気計測のためのナノプローブの開発(半導体・エレクトロニクス)
- Coil-Globule Transition and/or Coacervation of Temperature and pH Dual-Responsive Carboxylated Poly(N-isopropylacrylamide)
- 24・3 機械・電気モデリング(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 24・3 集積化MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- Proposal of High-Density Packaging Construction and Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall Using Spray Coating Technology
- Nanotweezers with Proximity Sensing and Gripping Force Control System
- Effectiveness of a Short-Term Steroid Treatment on the Reduction in Goiter Size in Antithyroid Drug-Treated Patients with Graves' Disease
- Symmetricity of the Protocols Related to Oblivious Transfer
- W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
- Preparation, Characterization and Biocompatibility Study of the Scaffold Prototype Derived from Cross-Linked Poly[(ε-caprolactone)-co-lactide] for Tissue Engineering Materials
- 櫛歯振動子への酸化物エレクトレット形成に関する検討
- T1601-1-2 MEMS振動子の白色雑音応答解析([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
- Conditional Converge Cast
- MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)
- B-1 ナノサイズプローブ先端の電気的コンタクト特性(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- MNM-P11-1 自己回帰モデルによるMEMS振動子パラメータ抽出法の提案(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- P-1 MEMS型静電アクチュエータ用Test Element Gridの検討(ポスター要旨講演)
- P-2 カリウムイオン含有シリコン酸化物エレクトレット(ポスター要旨講演)
- 4.マイクロテクノロジーのナノ・バイオへの適用(医用生体バイオ工学 : マイクロテクノロジーの開花へ向けて)
- 101 マイクロマシン技術で作るナノ構造とその応用(M&Mのニューアスペクト)
- Free-Space Optical Switch Modules Using Risley Optical Beam Deflectors
- Evaluation of Electrodeposited Gold Nanostructures for Applications in QCM Sensing
- Electrical Conductivity of Lambda DNA–Pd Wire
- 埋め込み型エレクトレットに於ける帯電過程のその場観察と高電圧帯電に関する検討