Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2009-05-01
著者
-
Koike Tomoyuki
Micromachine Center
-
HASHIGUCHI Gen
Research Institute of Electronics Shizuoka University
-
Tsuchiya Toshiyuki
Department Of Micro Engineering Kyoto University
-
IRIYE Yasuroh
Mizuho Information and Research Institute, Inc.
-
Hashiguchi Gen
Research Institute Of Electronics Shizuoka University Shizuoka University
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Iriye Yasuroh
Mizuho Information & Research Institute Inc.
-
FUJIWARA Nobuyo
Mizuho Information & Research Institute, Inc.
-
ASAMI Kazuo
Mizuho Information & Research Institute, Inc.
-
Asami Kazuo
Mizuho Information & Research Institute Inc.
-
Fujiwara Nobuyo
Mizuho Information & Research Institute Inc.
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