2115 コムドライブアクチュエータを用いた変位計測(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)

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概要

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• We have examined a three-terminal comb-drive actuator as a displacement sensor. In our design, a vibrating comb-electrode is sandwiched with a fixed electrode and a movable electrode. When the movable electrode makes a displacement by an external applied force, frequency of the self-oscillated comb-electrode is changed; eventually we can detect its displacement. In this paper, we showed a self-oscillation circuit and oscillation wave form of the three-terminal comb-drive actuator and the experimental result displacement measurement.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2008-03-17

著者

• 橋口 原

  香川大

• 細木 真保

  香川大学

• 橋口 原

  静岡大学

• 細木 真保

  静岡大学

• 鈴木 勝順

  香川大

• 橋口 原

  静岡大

• 細木 真保

  香川大

• HASHIGUCHI Gen

  Research Institute of Electronics Shizuoka University

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

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