2714 MEMS加工技術を用いたしゅう動面圧力測定センサーの開発 : センサー製作法の検討(G11-2 計測・センサー,G11 機素潤滑設計)
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概要
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In order to measure the pressure and the temperature of a contact between surfaces under a sliding-rolling contact condition, it was tried to develop a thin film sensor using MEMS (Micro Electromechanical Systems) process technology. In this paper, a contact pressure sensor was manufactured by Lift-off method. The sensor consists mainly of thin wires made of palladium and a thin polyimide film. The performance of the sensor was investigated using a compression testing machine and a Wheatstone bridge circuit. The output voltage of the sensor raised as the compressive load increased. However, the output voltage of the sensor was not stable.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
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