ナノ物質のマニピュレーションを行う為のAFMピンセットの開発

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概要

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• A prototype of AFM (Atomic Force Microscope) tweezers will be presented. In order to combine the functions of nano objects manipulation with AFM observation, we have developed a tweezers-type AFM probe device using micromachining technology. The device has two thin wedge-type arms shaped by anisotropic etching of silicon and local oxidation of silicon in techniques; one plays the role of an AFM probe, and another plays that of a manipulation probe in cooperation with manolithically fabricated micro actuators. The AFM tweezers will offer new research methods in bio/nano technology.

著者

• 橋口 原

  香川大学工学部

• 武川 哲也

  香川大学工学部

• 橋口 原

  静岡大学

• 中川 和久

  香川大

• 橋口 原

  香川大学

• 中川 和久

  香川大学工学部

• 斉藤 真人

  北陸先端技術大学院大学

• 山中 啓一郎

  北陸先端技術大学院大学

• 民谷 栄一

  北陸先端技術大学院大学

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• 武川 哲也

  香川大

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