電解エッチングとFIBによる高アスペクト比キャピラリアレイの加工
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-09-09
著者
-
藤田 博之
東大生研
-
橋口 原
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
全 教錫
東京大学生産技術研究所第3部
-
全 教錫
東大生研
-
橋口 原
東大生研
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