2A1-F03 パリレン保護によるSi細線MEMS変調素子の作製方法の検討(MEMSとナノテクノロジー)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have already reported the design and fabrication process of photonic MEMS actuators for optical attenuators integrated with a silicon photonic wire waveguide. This paper presents the tolerability of parylene against HF vapor and BPM TE mode simulation of silicon wire waveguide with parylene upper clad in order to combine conventional photonic IC technology.
- 2008-06-06
著者
-
中野 義昭
東京大学先端科学技術研究センター
-
藤田 博之
東京大学
-
藤田 博之
東大生研
-
高橋 一浩
東京大学生産技術研究所
-
中野 義昭
東大先端研
-
藤田 博之
東大・生研
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
中田 宗樹
東京大学 生産技術研究所
-
中田 宗樹
東京大学生産技術研究所
-
肥後 昭男
東京大学先端研
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
中野 義昭
東京大学先端研
-
年吉 洋
東大
-
肥後 昭男
東大
-
高橋 一浩
東大
-
中田 宗樹
東大
-
高橋 一浩
豊橋技科大
-
藤田 博之
東大・生産研・CIRMM
関連論文
- 情報ネットワーク省電力化に向けた光パケットスイッチング技術
- 化合物半導体集積光デバイスとドライエッチング技術
- CS-8-7 DBR MMI双安定レーザ構造集積全光フリップフロップの設計と予備試作(CS-8. ナノスケール光集積回路技術の展望, エレクトロニクス1)
- C-3-35 能動MMI型全光フリップ・フロップおよびマッハ・ツェンダー型SOAを用いた信号再生型波長変換動作(C-3. 光エレクトロニクス(光スイッチ), エレクトロニクス1)
- 半導体能動導波路に基づくデジタルフォトニックデバイス(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- マッハ・ツェンダ干渉器型双安定レーザの全光フリップ・フロップ動作実証(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- 半導体集積光デバイス・モノリシック光集積回路の現状と展望(集積光デバイス技術,エレクトロニクスソサイエティ和文論文誌500号記念論文)
- 1×16フェーズアレイ型半導体光パケットスイッチ(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- フェーズアレイ型1×N半導体光スイッチの試作と理論検討(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子光スイッチング,導波路解析,および一般)
- フェーズアレイ型1×N半導体光スイッチの試作と理論検討(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,および一般)
- 広帯域1×8光集積フェーズアレイ型スイッチの作製と評価 : 低偏波依存・ナノ秒スイッチング特性の検証(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
- PLZT導波路偏向型光マトリックススイッチを用いた光バーストスイッチサブシステム(交換)
- 光バーストルータープロトタイプにおける40/10Gbpsビットレート無依存スイッチングおよび波長変換による衝突回避の実証
- λアクセスネットワークにおけるテラビット級LAN多重アクセス技術(光ノード,光インタフェース,波長多重ネットワーク技術,光ノード技術,WDM技術,光LAN技術,光信号処理技術,一般)
- 選択領域有機金属気相成長の気相拡散効果を用いたInGaN系多波長発光素子の検討(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,及び関連技術,及び一般)
- 固体物理学と産業をつないで
- 高効率量子タンデム太陽電池
- 伸張歪MQWを用いたMMI-BLDの偏波無依存フリップ・プロップ動作(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- MMI双安定レーザー型全光フリップ・フロップの偏波無依存化に向けた実験的検証
- MMI双安定レーザー型全光フリップ・フロップの偏波無依存化に向けた実験的検証(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子光スイッチング,導波路解析,および一般)
- MMI双安定レーザー型全光フリップ・フロップの偏波無依存化に向けた実験的検証(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,および一般)
- BCS-1-6 半導体双安定レーザフリップフロップを用いた光パケットスイッチング技術(BCS-1,フォトニックネットワークを支える光スイッチ技術,シンポジウム)
- BCS-1-6 半導体双安定レーザフリップフロップを用いた光パケットスイッチング技術(BCS-1.フォトニックネットワークを支える光スイッチ技術,シンポジウム)
- MMI型光ラベル・メモリによる320Gb/s光パケット・スイッチング
- MMI型光ラベル・メモリによる320Gb/s光パケット・スイッチング(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- 分布ブラッグ反射鏡を用いた全光フリップ・フロップの波長可変特性
- B-12-4 フェーズアレイ型1×N半導体光スイッチのスケーラビリティ(B-12.フォトニックネットワーク,一般講演)
- B-12-5 PLZT型光スイッチを用いた80Gb/s多波長パケット交換の検証(B-12.フォトニックネットワーク,一般講演)
- B-12-1 多波長光パケットと波長パスを組み合わせたハイブリッド型光ネットワーク(B-12.フォトニックネットワーク,一般講演)
- PLZT型光スイッチを用いた80Gb/s多波長光パケット転送実験
- 多波長光パケット交換と光回線交換を用いたハイブリッドネットワークに関する検討
- ハイブリッド型光 Add/Drop リングネットワークにおける交換ノードの初期的検証実験
- SiNを上部クラッドとするGaN/AlN光導波路のサブバンド間吸収(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- B-12-15 フェーズアレイ1×8集積光スイッチを用いた可変光バッファ(B-12.フォトニックネットワーク,一般セッション)
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- CS-8-10 非相反損失変化に基づく集積化可能な導波路型光アイソレータ(CS-8. ナノスケール光集積回路技術の展望, エレクトロニクス1)
- C-4-7 大容量光ルータのための広帯域フェーズアレイ型モノリシック光スイッチ(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-76 ナノギャップ伝搬光の特性解析
- C-3-69 導波路型アイソレータのための非相反偏波コンバータの提案(パッシブデバイス,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 選択領域有機金属気相成長の気相拡散効果を用いたInGaN系多波長発光素子の検討(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,及び関連技術,及び一般)
- 選択領域有機金属気相成長の気相拡散効果を用いたInGaN系多波長発光素子の検討(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,及び関連技術,及び一般)
- Zコントラスト法による化合物半導体ヘテロ界面急峻性評価
- C-4-17 MOVPE 成長 AIN/GaN 多重量子井戸における 1.55μm のサブバンド間遷移
- フェーズアレイ型1×N半導体光スイッチの試作と理論検討(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子光スイッチング,導波路解析,および一般)
- 1×16フェーズアレイ型半導体光パケットスイッチ(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 1×16フェーズアレイ型半導体光パケットスイッチ(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 1×16フェーズアレイ型半導体光パケットスイッチ(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- フェーズアレイ型半導体光パケットスイッチの研究開発(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- C-3-54 光パケットスイッチング用InP集積フェーズアレイ型1×N光スイッチ(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- SiNを上部クラッドとするGaN/AlN光導波路のサブバンド間吸収(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- SiNを上部クラッドとするGaN/AlN光導波路のサブバンド間吸収(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- 高密度光IC用ファイバアレイOPLEAF
- C-3-61 高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(2)(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-30 光IC用高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 特集に寄せて
- マッハ・ツェンダ干渉器型双安定レーザの全光フリップ・フロップ動作実証(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- マッハ・ツェンダ干渉器型双安定レーザの全光フリップ・フロップ動作実証(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- 共有波長資源配分比可変型ハイブリッド光交換ノードの設計と実装(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- 広帯域1×8光集積フェーズアレイ型スイッチの作製と評価 : 低偏波依存・ナノ秒スイッチング特性の検証
- 広帯域1×8光集積フェーズアレイ型スイッチの作製と評価 : 低偏波依存・ナノ秒スイッチング特性の検証(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
- 広帯域1×8光集積フェーズアレイ型スイッチの作製と評価 : 低偏波依存・ナノ秒スイッチング特性の検証(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
- ハイブリッド型光Add/Dropリングネットワークにおける交換ノードの初期的検証実験(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
- ハイブリッド型光Add/Dropリングネットワークにおける交換ノードの初期的検証実験(フォトニック NW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
- ハイブリッド型光Add/Dropリングネットワークにおける交換ノードの初期的検証実験(フォトニック NW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
- Ce:YIGを有するInGaAsP/InP非対称導波路からなる非相反偏波コンバータ(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- 多波長環境におけるSOAスイッチのダイナミックレンジ評価実験(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- MMI型光ラベル・メモリによる320Gb/s光パケット・スイッチング(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- MMI型光ラベル・メモリによる320Gb/s光パケット・スイッチング(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- MMI型光ラベル・メモリによる320Gb/s光パケット・スイッチング
- 高性能光電子集積回路実現に向けたIII-V CMOSプラットフォーム技術(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 高性能光電子集積回路実現に向けたIII-V CMOSプラットフォーム技術(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 高性能光電子集積回路実現に向けたIII-V CMOSプラットフォーム技術(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 高性能光電子集積回路実現に向けたIII-V CMOSプラットフォーム技術(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- PLZT型光スイッチを用いたフィードフォワード型入力バッファ付き320Gb/s多波長光パケット交換の実証実験(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- 共有波長資源配分比可変型400Gb/sハイブリッド光交換ノードの実証実験(フォトニックネットワークシステム,光ルーティング,ブロードバンドアプリケーション,一般)
- BS-9-4 テラビット級LANにおけるハイブリッド型光ネットワークアーキテクチャ(BS-9.テラビットLAN/MANを実現する光波長アクセス技術,シンポジウムセッション)
- B-12-5 動的な波長資源割当可能なハイブリッド光交換ノードの実証実験(B-12.フォトニックネットワーク,一般セッション)
- 高速光ワイヤレス通信用発光デバイス
- 非相反損失変化に基づく半導体導波路型光アイソレータ(量子効果型光デバイス・光集積化技術, 及び一般)
- 非相反損失変化に基づく半導体導波路型光アイソレータ(量子効果型光デバイス・光集積化技術, 及び一般)
- 非相反損失変化に基づくTEモード半導体導波路型光アイソレータ
- [招待論文]半導体能動導波路に基づくデジタルフォトニックデバイス(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- 多波長光パケット交換を用いたパス/パケット混在型光ネットワークにおける交換ノードの設計と実装(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- B-12-16 ハイブリッド型光ネットワークを実現する交換ノードの設計と実装(B-12. フォトニックネットワーク,一般セッション)
- B-12-9 PLZT型光スイッチを用いた衝突回避機構付き320Gb/s多波長光パケット交換の検証(B-12. フォトニックネットワーク,一般セッション)
- B-12-2 グレーティング装荷方向性結合器における全光スイッチング動作
- GaInAsP-DFB導波路とファイバカプラを用いた全光学的AND動作
- GaInAsP分布反射器における全光学的しきい値動作
- B-12-9 グリーティング装荷非線形方向性結合器を用いた 1×2 全光スイッチング
- C-3-101 2つの出力ポートを有する光双安定素子における全光set-reset動作実証
- B-12-11 フェーズアレイ1×16集積光スイッチと小型ファイバ遅延線を用いた可変光バッファ(B-12.フォトニックネットワーク,一般セッション)
- 特集に寄せて
- MOVPE選択成長によるSOA・位相変調器集積干渉計型全光スイッチの試作と評価
- MOVPE選択成長によるSOA・位相変調器集積干渉計型全光スイッチの試作と評価
- MOVPE選択成長によるSOA・位相変調器集積干渉計型全光スイッチの試作と評価
- Integrated broadband 1x8 optical phased-array switch with low polarization sensitivity and nanosecond-scale reconfiguration time (フォトニックネットワーク)
- フィールドテストベッドにおける5x5光バーストスイッチングノードの40Gbpsイーサーレイヤ評価(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- B-12-3 92kmフィールド伝送系におけるPLZT光バーストスイッチノードの実環境試験(B-12. フォトニックネットワーク,一般セッション)
- フェーズアレイ型1×N半導体光スイッチの試作と理論検討
- MMI双安定レーザー型全光フリップ・フロップの偏波無依存化に向けた実験的検証(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子光スイッチング,導波路解析,および一般)