シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2007-07-03
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
藤田 博之
東大生研
-
年吉 洋
東京大学
-
肥後 昭男
東京大学 先端科学技術研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
肥後 昭男
東京大学先端研
-
年吉 洋
東京大学先端研
関連論文
- マイクロマシンツールを用いたDNA計測システム
- 液体誘電泳動によるDNA液滴形成の最適化
- 1120 MEMSピンセットを用いたHBCナノチューブの捕獲(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 2113 MEMSピンセットを用いた長鎖高分子捕獲方法の最適化(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 2112 Integration of closed microfluidics and open droplet actuation on a single lab-on-a-chip device
- シリコンナノピンセットを用いたDNA酵素反応のメカニカルセンシング
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- ツリガネムシを駆動源とするマイクロシステム (特集 工学とバイオ)
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- マイクロ流体デバイスによるツリガネムシの生体アクチュエータの制御
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- ツリガネムシを駆動源とするMEMS作製のためのツリガネムシへの人工物接着
- フォーク型カンチレバーインスリンセンサー
- 表面科学とMEMS
- センサ・マイクロマシンのバイオ分野への展開 : バイオ・マイクロシステム技術委員会の新設
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- HBCナノチューブに対する誘電泳動 : らせん状電流路をもつ超分子系の特性評価
- 熱蒸着及びKOH溶液エッチングを用いたナノスケール流路製作及びDNA分子挙動特性観察への応用
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- ツリガネムシで駆動するMEMSの実現に向けて : ツリガネムシの力学特性計測とMEMS一体化プロセスの基礎検討
- 1106 ナノワイヤの電気機械計測 : Pdナノ粒子で修飾されたlambda-DNAワイヤの特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- Narrow Gap DNA ナノピンセットの作製
- 静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作
- MEMS技術による光ファイバ内視鏡--マイクロミラーによる医療用内視鏡の小型化 (特集 光MEMSの現状と展望)
- MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
- プローブナノリソグラフィーによる単電子トランジスタの開発
- MEMS-フォトニック結晶機能素子の作製方法
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- Si鋳型を用いた微細穴の試作
- スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
- C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 生体単分子捕獲のためのマイクロデバイス作製と検討
- マイクロマシン・MEMSの研究動向--ナノ微細加工からセンサやバイオへの応用まで
- ロボットとロボット工学の未来
- 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- TiNi合金薄膜のパターニングの検討
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- AFMピンセットによるナノマニピュレーション技術に関する研究
- Nanoneedles for motor molecule rotation visualization : fabrication, characterization application
- 電気的、機械的、光学的デバイスのアセンブリを目指したマイクロコネクタの製作と評価
- 生体分子モータを利用した分子ソーターの基礎検討
- 高分解能、並列動作マイクロアクチュエータを用いた微少量液制御シリンジ
- 2P1-3F-G8 ナノ搬送システムのための生体分子モータ制御
- 遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造
- 自律分散型マイクロ搬送システムの実現
- 自律分散型搬送システムの制御系の考案と実現
- 2P1-3F-G7 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
- 三次元光導波路とくし歯形静電アクチュエータの集積化デバイスの試作
- 大面積MEMS技術と整合する黒板型ディスプレイの製作と評価 (IMAGING TODAY 電子ペーパーの最新応用技術)
- プラスチックMEMS技術を用いた透過型カラーディスプレイ
- 大面積MEMS技術に整合した黒板型リライタブルディスプレイ
- シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法
- 高温超電導磁気浮上を用いたマイクロX-Y-θ搬送アクチュエータの動作特性
- マイクロ光スイッチ用垂直ミラーの作製
- 電磁駆動によるネジ溝付きワブルモータ
- 東大生研での磁気応用のマイクロマシン
- 超電導磁気浮上を用いたマイクロ搬送アクチュエータ
- 磁気記録用微動アクチュエータの為のSiO_2垂直犠牲層
- 538 マイクロキャピラリの製造方法とその機械強度評価
- 静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性
- MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
- 2A1-F03 パリレン保護によるSi細線MEMS変調素子の作製方法の検討(MEMSとナノテクノロジー)
- 電解エッチングとFIBによる高アスペクト比キャピラリアレイの加工
- MEMSと次世代ナノテクノロジー(ナノメカ技術,次世代ナノテクノロジー論文)
- 光アドレシングによる微小構造体アレイの非接触駆動
- 移動通信システムの課題に対するKDDIの研究内容について(ワイヤレスインターネット,マルチホップネットワーク,メッシュネットワーク,ネットワーク符号化,クロスレイヤ技術,無線通信,及び一般)
- C-3-28 MEMS光駆動型ファイバ内視鏡によるOCT観察(光計測・センシング(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- MNM-P6-4 ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化と電極改善(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
- MNM-2B-2 MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-2B-1 MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観察及び力計測(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)
- D-5 ロータリーステッパーモーターにおける共振・変位特性を考慮した簡易解析モデルの検討(情報機器コンピュータメカニクス)
- B-1 ナノサイズプローブ先端の電気的コンタクト特性(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- センサ・マイクロマシン部門
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- 光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのCMOSポストプロセス作製
- エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用(機構デバイス)
- 材料結合性ペプチドを用いたカーボンナノチューブ薄層形成とその特性評価
- 単一細胞の機械的特性評価のための両探針駆動シリコンナノピンセット