電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
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概要
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- 2006-05-15
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
年吉 洋
東京大学
-
高橋 一浩
東京大学生産技術研究所
-
三田 信
JAXA
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
三田 信
宇宙航空研究開発機構
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
三田 信
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
-
権 鎬楠
神奈川科学技術アカデミー
-
高橋 一浩
豊橋技科大
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