MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
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概要
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- 2009-07-23
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
佐藤 隆昭
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
石田 忠
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
石田 忠
東京大学
-
庄路 陽紀
東京大学
-
佐藤 隆昭
東京大学生産技術研究所
-
佐藤 隆昭
東京大学 生産技術研究所
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