B-3 ホットスイッチングによるMEMSスイッチ表面におけるナノスケール形状変化の実時間観察(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The deformation on the surface of the gold MEMS opposing tips was observed with a transmission electron microscope. A gold nanocontact was formed between the tips, resulting in 92 μA under 1 V in bias voltage. And then, the nanocontact was separated with the retraction using MEMS actuators. After the breakage of the gold nanocontact, the tip was vibrated and performed the cyclic contact/separation experiment. The shape of the tip were initially sharpened from 1.3 nm up to 0.6 nm in radius curvature at 17 millicon times and finally flattened to 4.1 nm at 17.7 millicon times.
- 2010-03-16
著者
関連論文
- 5513 原子間力顕微鏡(AFM)プローブ機能付き4端子プローブの開発(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
- MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤ熱伝導のTEM内測定
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 表面科学とMEMS
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 高密度光IC用ファイバアレイOPLEAF
- C-3-61 高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(2)(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-30 光IC用高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 非対称グレーティング回折格子による平面集積形光偏向機能素子
- 静電ワブルモータの解析
- MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
- 薄膜トランジスタ積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
- WS.4-7 ニッケル電鋳を応用した 3 次元マイクロ構造体の作製
- マイクロマシニングとしてのニッケル電鋳技術の応用
- C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
- マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
- 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
- 金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
- 1121 MEMS可動の異種物質対向探針の作製と動作のTEM観察(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- 2方向動作静電アクチュエータ
- 高アスペクト比リソグラフィによる電鋳型の作製とその応用
- TiNi形状記憶合金薄膜の加工法
- 薄膜形状記憶合金アクチュエータの製作と応用
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
- SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
- SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
- フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減
- MEMS対向探針による金ナノコンタクト接近-衝突-引張-破断実験のHRTEM観察と電流測定
- ナノギャップを有する対向針状電極のTEM内の駆動とトンネル電流測定への応用
- [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
- マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
- Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
- 超微小チャンバーによる一分子バイオケミカルアッセイ
- 1108 極微細ヒータを用いた生体分子モータの回転速度制御 : バイオ機能分子と無機微細加工構造物に融合による新機能素子の創造に向けて(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- MEMSセンサの鉄道への応用可能性
- 2A1-A09 バルクマイクロマシニングによるアレイ型エアーフローアクチェータ : 自律分散搬送システムを指向した MEMS
- 三次元マイクロ構造の自己構築法
- モータタンパク観察用ガラスチャネルの製作
- 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
- 層流を用いた電気めっき法によるマイクロ構造の製作
- マイクロマシンとの集積化に適したフィードバック制御用分散型プロセッサ(マイクロマシン関連技術)
- W11(3) マイクロメカトロニクスの画像ディスプレィ応用(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
- 高温超電導体への部分的着磁ガイドを用いた磁気浮上搬送の基礎研究
- 微量血液検査システムのための微小注射針の作製
- C-3-69 バーティカル・コーム型トーションミラーの水平面内安定化(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
- マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
- 第1回 生研産学共同研究の歴史を振り返る懇談会 : （生研アーカイバル懇談会）
- 液体ヘリウム温度における極低温構造材料の電磁衝撃破壊
- MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
- マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般)
- マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- MNM-2B-2 MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-2B-1 MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観察及び力計測(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- F-1 MEMS銀探針のナノせん断破壊に伴う界面変形の実時間TEM観測(マイクロナノ理工学)
- B-3 ホットスイッチングによるMEMSスイッチ表面におけるナノスケール形状変化の実時間観察(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- 101 マイクロマシン技術で作るナノ構造とその応用(M&Mのニューアスペクト)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察 (特集 Au/Si界面の科学)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察
- 薄膜トランジスタ-積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法及び電気特性