TiNi形状記憶合金薄膜の加工法
スポンサーリンク
概要
著者
-
藤田 博之
東京大
-
中村 洋介
東京大学大学院情報理工学系研究科
-
中村 滋男
(株)日立製作所 機械研究所
-
中村 滋男
東京大
-
中村 滋男
日立機械研
-
安宅 学
東京大学・生産技術研究所
-
安宅 学
東京大学生産技術研究所
-
中村 洋介
東京大
-
安宅 学
東京大学 生産技術研究所
-
安宅 学
東京大学
関連論文
- 5513 原子間力顕微鏡(AFM)プローブ機能付き4端子プローブの開発(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
- 糸魚川-静岡構造線活断層系北部大町地域の浅層反射法地震探査
- 熱アシスト磁気記録用集積光学系の開発 ((社)日本磁気学会第170回研究会 第4回光機能磁性デバイス・材料専門研究会共催 光と磁気のシナジー技術--次世代ストレージ・光機能磁性デバイス実現のための新技術動向)
- 剪断変形型圧電素子を用いたアクティブヘッドスライダ
- 熱アシスト磁気記録用集積光学系の開発
- 磁気ディスク装置用ヘッド支持機構の流体起因振動(機械力学,計測,自動制御)
- 2528 磁気ディスク装置用ヘッド支持機構の流体起因振動の低減(S79-2 情報機器コンピュータメカニクス(2),S79 情報機器コンピュータメカニクス)
- 2110 回転円板と静止壁の間におかれた磁気ディスク装置用ヘッド組立体の流体起因振動(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス1)
- 磁気ディスク装置用ヘッド支持機構用の流体起因振動計測装置
- HGA流体起因振動の温度特性(S62-2 機構・制御(2),S62 情報機器コンピュータメカニクス)
- 3211 磁気ディスク装置用ヘッドサスペンションの流体起因振動
- 3220 プリアンプ搭載型ヘッド支持機構の熱変位特性
- 磁気ディスク装置用サスペンションの振動特性評価と粘弾性ダンパを用いた振動低減(機械力学,計測,自動制御)
- F-1307 磁気ディスク装置用ヘッドサスペンションおよびアームの風乱振動低減(S47-2 機構2 流れ場設計)(S47 情報機器コンピュータメカニクス)
- F-1303 小型磁気ディスク装置用高耐衝撃ヘッドサスペンション開発へのタグチメソッドの適用(S47-1 機構1 アクチュエータ)(S47 情報機器コンピュータメカニクス)
- F-1301 2段アクチュエータ用サスペンションの浮上特性・変位特性の検討(S47-1 機構1 アクチュエータ)(S47 情報機器コンピュータメカニクス)
- 磁気ディスク装置用マイクロアクチュエータ
- 111 衝撃時間とスライダのジャンプ現象の関係に関する研究
- 5724 超小型光ディスク装置用スイングアームアクチュエータ(S84-3 情報機器コンピュータメカニクス(3),S84 情報機器コンピュータメカニクス)
- 微小コイルを用いた磁気ディスク用マイクロ電磁アクチュエータ
- 1101 磁気ディスク装置の柔軟支持機構(要旨講演,一般セッション:情報機器コンピュータメカニクス)
- 223 プリアンプ搭載型ヘッド支持機構の温度特性
- Ir/Au-TESを用いたX線マイクロカロリメータの開発
- 27pXD-4 超伝導Irを用いたX線マイクロカロリメータの開発
- 超伝導Irを用いたX線マイクロカロリメータの開発
- Ir超伝導転移型センサの高分解能X線検出器への応用
- パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
- 反射法探査のカタログ作成および反射断面図に見られる断層の形態
- 単一超伝導体を用いたTESマイクロカロリメータの開発
- 2方向動作静電アクチュエータ
- 高アスペクト比リソグラフィによる電鋳型の作製とその応用
- TiNi形状記憶合金薄膜の加工法
- TiNi合金薄膜のパターニングの検討
- 薄膜形状記憶合金アクチュエータの製作と応用
- 微小コイルを用いた磁気ディスク用マイクロ電磁アクチュエータ
- マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
- 簡単な非最小位相系のステップ応答
- ヘテロジニアス演算器構成による高耐故障実行ステージ(回路・設計手法)
- 耐故障パイプラインプロセッサの実行ステージにおける改良(ディペンダブルプロセッサ,ディペンダブルコンピュータシステムとセキュリティ技術及び一般)
- 耐故障パイプラインプロセッサの実行ステージにおける改良(ディペンダブルプロセッサ,ディペンダブルコンピュータシステムとセキュリティ技術及び一般)
- リコンフィギュレーションによるFPGAの固定故障検出(ネットワーク, デザインガイア-VLSI設計の新しい大地を考える研究会-)
- LUTとマイクロプログラムによる耐固定故障プロセッサ(高信頼プロセッサ, SWOPP武雄2005(2005年並列/分散/協調処理に関する「武雄」サマー・ワークショップ))
- 機能縮小による耐故障性プロセッサ(耐故障プロセッサとコンピュータシステム)
- ハードウェア再構成方式の部分回路故障回避に対する速度評価
- ハードウェア再構成方式の部分回路故障回避に対する速度評価
- MEMSセンサの鉄道への応用可能性
- 三次元マイクロ構造の自己構築法
- モータタンパク観察用ガラスチャネルの製作
- マイクロ搬送システムに適した分散的頂点検出による物体識別
- 微量血液検査システムのための微小注射針の作製
- 富山県砺波平野, 高清水断層および法林寺断層の第四紀後期における活動性
- マイクロマシンによる乱数の発生
- S1603-1-1 テラビット級熱アシスト磁気記録を実現するSiサブマウントを利用した光伝送機構の開発(情報機器コンピュータメカニクス,社会変革を技術で廻す機械工学)
- S1603-1-3 磁気ディスク装置用ヘッドサスペンションの機械特性に関する考察(情報機器コンピュータメカニクス,社会変革を技術で廻す機械工学)
- B-3 ホットスイッチングによるMEMSスイッチ表面におけるナノスケール形状変化の実時間観察(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- 101 マイクロマシン技術で作るナノ構造とその応用(M&Mのニューアスペクト)
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのCMOSポストプロセス作製
- 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
- 薄膜トランジスタ-積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法及び電気特性