微小コイルを用いた磁気ディスク用マイクロ電磁アクチュエータ
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概要
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The dual-stage positioning system technology for hard disk drives is one of the most important technologies for the fast and precise positioning of the magnetic head and the wide servo bandwidth. This paper describes a prototype of the electromagnetic micro actuator for dual-stage positioning. It is composed of a movable part with a yoke supported by the cross-shaped spring and the four micro coils. The driving force of this actuator is the electromagnetic force generated by those coils. The displacement was 3.2 μm at the frequency of 2 kHz with the applied voltage of 2.1 V. The linearity between the coil current and the displacement was fairly good by the differential current driving method. The first and second resonant frequency were 580 Hz and 20 kHz respectively.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-08-01
著者
-
難波 入三
(株)日立製作所 中央研究所
-
中村 滋男
(株)日立製作所 機械研究所
-
佐藤 和恭
(株)日立製作所 機械研究所
-
吉田 隆
日立日立研
-
佐藤 和恭
日立製作所機械研究所
-
中村 滋男
東京大
-
中村 滋男
日立機械研
-
難波 入三
日立中研
-
難波 入三
株式会社日立製作所
-
中村 滋男
株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ
-
佐藤 和恭
株式会社日立製作所
-
有坂 寿洋
株式会社日立製作所
-
有坂 寿洋
日立
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