平面光導波路を用いたマイクロメカニカル光スイッチ
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概要
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光スイッチは光通信システムの信頼性向上や各種測定器への組込みによる高機能化などに必要不可欠な光デバイスであり, 光通信技術の発展にとって極めて重安な位置を占めている. そこでマイクロマシニング技術の応用により, 小形で低損失の機械式光スイッチを開発することを目的として, 平面光導波路を機械的に動かす光スイッチの試作を行った. 本論文では新しく考案した光スイッチの動作原理と加工プロセスを述べるとともに, 平面光導波路要素による光スイッチ各部の損失の測定と光の結合損シミュレーションにより, 光スイッチ構造の有効性を検討した. その結果, 挿入損のほとんどは平面光導波路自体の伝搬損であり, 光切換部のギャップや切換動作時の平面光導波路の変形による損失増大などは, 平面光導波路の伝搬損と比較して十分に小さいことが明らかとなった. 更に電磁アクチュエー夕を実装した光スイッチを試作し, 自己保持切換えが可能であることを示した. この試作結果から, 光切換ストロークの誤差を低減すれば, 光スイッチの損失を1dB以下に抑えることも可能であることが明らかとなった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-06-25
著者
-
堀野 正也
日立製作所機械研究所
-
佐藤 和恭
日立製作所機械研究所
-
小林 大
日立電線オプトコシステム研究所
-
明石 照久
(株)日立製作所 機械研究所
-
古川 栄治
日立製作所情報通信事業部
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明石 照久
日立製作所機械研究所
-
佐藤 和恭
(株)日立製作所機械研究所
-
明石 照久
(株)日立製作所機械研究所
-
明石 照久
日立製作所
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