リチウムタンタレート圧電材料を用いた小型バイモルフ振動子の振動特性
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概要
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- 2000-09-01
著者
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明石 照久
(株)日立製作所 機械研究所
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長崎 正
(株)日立メディアエレクトロニクス
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明石 照久
(株)日立製作所機械研究所
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大津 満雄
(株)日立メディアエレクトロニクス
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角田 莞爾
(株)日立製作所 デジタルメディアシステム事業部
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大津 溝雄
(株)日立メディアエレクトロニクス
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