高段差ピット底部におけるリフトオフパターニングプロセス

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気学会の論文
• 1999-01-01

著者

• 岡野 広明

  日立電線 (株) オプトロシステム研究所

• 明石 照久

  日立製作所機械研究所

• 明石 照久

  (株)日立製作所機械研究所

• 岡野 広明

  日立電線

• 明石 照久

  日立製作所

関連論文

• MEMS光マトリクススイッチ
• C-3-88 石英系導波路1x4波長スプリッタ
• 平面光導波路を用いたマイクロメカニカル光スイッチ
• マイクロマシン技術を応用した光スイッチの試作
• マイクロマシン技術を応用した光スイッチの試作
• マイクロマシン技術を応用した光スイッチの試作
• マイクロマシン技術を応用した光スイッチの試作
• 石英系導波路型2×16光スターカプラ
• リチウムタンタレートを用いた小型バイモルフ振動子の共振周波数調整
• リチウムタンタレートを用いた小型バイモルフ振動子の共振周波数調整
• リチウムタンタレート圧電材料を用いた小型バイモルフ振動子の振動特性
• リチウムタンタレート圧電材料を用いた小型バイモルフ振動子の振動特性
• AlNサブマウントに形成した窒化タンタル薄膜抵抗の特性評価
• 薄膜抵抗の最適設計と光部品への適用
• 光モジュール実装基板における薄膜電極の付着力評価
• 光モジュール実装基板における薄膜電極の付着力評価
• 高段差ピット底部におけるリフトオフパターニングプロセス

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク