電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
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概要
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An electrostatic micro actuator with an electrical contact between the electrodes is known to show a limit-cycle behavior due to the combination of electrostatic pull-in and release. We newly used an electrical circuit simulator to make an equivalent circuit model to reproduce the limit-cycle by multi-physics simulation. This simulation results were found to explain the experimenntally observed behavior of the developedMEMS voltage to frequency convertor (VFC).
- 電気学会の論文
- 2012-07-01
著者
-
三田 信
JAXA
-
年吉 洋
東大生産研
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
三田 信
宇宙航空研究開発機構
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
安宅 学
東京大学・生産技術研究所
-
安宅 学
東京大学生産技術研究所
-
年吉 洋
東大
-
年吉 洋
東京大学 先端科学技術研究センター
-
安宅 学
東京大学 生産技術研究所
-
丸山 智史
東京大学 先端科学技術研究センター
-
丸山 智史
東京大学 生産技術研究所
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