シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Sacrificial etching is a substantial step in MEMS or micromachining process, by which patterned thin films are partially released from the substrate surface to make mechanically movable micro structures. Amongst the variations of structural and sacrificial layer combinations including metal-over-polyimide and metal-over-polysilicon, we discuss the most fundamental processing technique of silicon oxide sacrificial release for the surface- and bulk-silicon micromachining, along with a toolbox to prevent the surface stiction problems.
- 2011-01-01
著者
関連論文
- マイクロ・ナノメカトロニクス (応用物理分野におけるアカデミック・ロードマップ)
- B-1-175 実用的な能動形フェーズドアレーアンテナの研究開発計画(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般講演)
- 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- マイクロ・ナノメカトロニクス
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
- B-1-171 高密度実装した間引き給電・能動型位相配列アンテナAPAA(B-1.アンテナ・伝播C(アンテナシステム),一般セッション)
- MEMS技術による光ファイバ内視鏡--マイクロミラーによる医療用内視鏡の小型化 (特集 光MEMSの現状と展望)
- LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作
- 液中でのレーザー励起プラズマによる3次元カラー画像表示器
- MEMS集積化フォトニック結晶導波路の作製と評価(半導体レーザ関連技術, 及び一般)
- MEMS-フォトニック結晶機能素子の作製方法
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
- 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
- 赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
- C-2-78 Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 2005 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 報告
- 2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 報告
- MEMS光ファイバスイッチのデバイス設計小論 (マイクロ・ナノメカトロニクス)
- (マイクロマシン特集号)
- 大面積MEMS技術と整合する黒板型ディスプレイの製作と評価 (IMAGING TODAY 電子ペーパーの最新応用技術)
- W11(3) マイクロメカトロニクスの画像ディスプレィ応用(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
- プラスチックMEMS技術を用いた透過型カラーディスプレイ
- 大面積MEMS技術に整合した黒板型リライタブルディスプレイ
- シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法
- C-3-69 バーティカル・コーム型トーションミラーの水平面内安定化(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
- Vertical Comb 型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用
- 磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
- シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- MEMS技術の光ファイバ内視鏡応用 (特集 光MEMS技術の新展開)
- 国際会議報告：IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2010
- マイクロマシンによる乱数の発生
- 2A1-F03 パリレン保護によるSi細線MEMS変調素子の作製方法の検討(MEMSとナノテクノロジー)
- 24・6 RF-MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 光アドレシングによる微小構造体アレイの非接触駆動
- SOI基板によるマイクロレンズ光スキャナの製作
- C-3-28 MEMS光駆動型ファイバ内視鏡によるOCT観察(光計測・センシング(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-5-1 光MEMS技術の実用化に関する先駆的研究(C-5.機構デバイス,一般セッション)
- C-3-49 光ファイバ通信におけるMEMS技術(光スイッチ・変調器(1),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- MEMS技術の光ファイバコンポーネントへの新展開
- 静電マイクロアクチュエータの駆動機構と設計限界
- MEMS光スイッチの最近の話題
- 米国におけるマイクロマシンの産業応用 : 平成10年度三好研究助成金報告
- マイクロマシニングのメカニカル光スイッチ応用
- 光MEMS--通信応用から画像応用へ (特集 光マイクロ・ナノマシン)
- プラスチックMEMS技術によるカラーピクセル (特集1 2007年・FPDの市場と技術展望)
- 印刷技術によるフレキシブルMEMSカラーピクセル(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
- 電気回路シミュレータによるMEMSアクチュエータ・センサの等価回路モデル(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- MEMS技術で夢のあるエレクトロニクスを (駒場リサーチ キャンパス公開講演)
- 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
- エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用(機構デバイス)
- 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源
- 電気回路シミュレータによるMEMSアクチュエータ・センサの等価回路モデル
- MEMS光スキャナの画像ディスプレィ応用 : MEMSがコモディティ化したあとの応用も含めて(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
- ナノスケール摺動電気接点における接触抵抗安定性と耐摩耗性
- 圧電フィルムによるエネルギーハーベスティングと2V有機トランジスタ回路を搭載した靴の中敷き型万歩計(エナジーハーベスティング・電源・ドライバ,低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- 圧電フィルムによるエネルギーハーベスティングと2V有機トランジスタ回路を搭載した靴の中敷き型万歩計(エナジーハーベスティング・電源・ドライバ,低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用
- 11-3 撮像デバイスの3 次元集積化に向けた要素技術の開発(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)
- 水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法(マイクロ波,ミリ波)