エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用

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概要

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• 2012-10-01

著者

• 年吉 洋

  東京大学先端研

• 川崎 繁男

  宇宙航空研究開発機構

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 山根 大輔

  東京大学先端科学技術研究センター

• サン ウィンストン

  東京大学先端科学技術研究センター

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