Vertical Comb 型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用
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概要
著者
-
藤田 博之
東京大学 生産技術研究所
-
山野井 俊雄
光伸光学工業株式会社
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
小尾 浩士
東京大学生産技術研究所:光伸光学工業株式会社
-
小尾 浩士
光伸光学工業(株)
-
年吉 洋
東京大学 先端科学技術研究センター
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