研究解説（公開講演） : インテリジェントマイクロメカトロニクス
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
超小型の知的メカトロニクスシステムを美現するためには、IC製造用微細加工技術を用いるアプローチと、極限的な精密機械加工を用いるアプローチ、さらにこうして作られた微小デバイスを統合するメカトロニクスのアプローチの3つが必要である。これらの技術の最先端を、生産研での成果を中心に解説する。特に、静電気や超電導を用いたマイクロアクチュエータ、マイクロ放電加工、衝撃力による微細位置決め法について述べる
- 2011-03-17
著者
関連論文
- シリコンナノピンセットを用いたDNA酵素反応のメカニカルセンシング
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- ツリガネムシを駆動源とするマイクロシステム (特集 工学とバイオ)
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- マイクロ流体デバイスによるツリガネムシの生体アクチュエータの制御
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
- 静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- ツリガネムシを駆動源とするMEMS作製のためのツリガネムシへの人工物接着
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- 熱蒸着及びKOH溶液エッチングを用いたナノスケール流路製作及びDNA分子挙動特性観察への応用
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- 電鋳技術を用いたMEMS
- 研究解説（公開講演） : インテリジェントマイクロメカトロニクス
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 顕微鏡観察下における局所的温度制御のためのマイクロデバイス
- マイクロ温度制御デバイスによるモータ蛋白質の一分子制御
- マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
- Vertical Comb 型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用
- ピギーバックアクチュエータのマイクロ加工と制御
- 光応用計測用 MEMS 光スキャナ
- 光スキャナの磁気駆動
- 磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- SOI基板によるマイクロレンズ光スキャナの製作
- マイクロヒータを用いた極小反応容器のパルス加熱による高温域における酵素活性測定
- MEMSで捕獲したDNA上の整列金属ナノ粒子の観察と評価
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- Electric Contact Characteristics at the Nanoscale Probe Tip
- 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源