SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-11-11
著者
-
山下 幸一
東芝テック(株)技術本部製品開発センター
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所
-
小川 実
Tec Cop. Tokyo Japan
-
BOUROUINA Tarik
LIMMS/CNRS, 東京大学生産技術研究所
-
小川 実
東芝テック
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
Bourouina Tarik
Limms/cnrs 東京大学生産技術研究所
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