金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
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概要
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- 2007-07-03
著者
-
石田 忠
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
仲島 祐樹
東京大学
-
仲島 祐樹
東京大学生産研
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
石田 忠
東京大学生産技術研究所
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