2A1-A09 バルクマイクロマシニングによるアレイ型エアーフローアクチェータ : 自律分散搬送システムを指向した MEMS
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概要
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バルクマイクロマシニング技術により作製した多数のマイクロアクチュエータをアレイ状に配置した, マイクロ搬送システムを実現した。本システムは, 個々のマイクロアクチュエータが自律的に動作することで, 全体として搬送用の気流を制御し, 物体を浮上させ搬送するシステムであり, シリコン基板で作製されたアクチュエータアレイで構成される駆動部と, 自律分散システムに基づいたアルゴリズムを持つ制御回路部からなる。今回はシステムの主要構成部である気流を用いたアクチュエータを製作し, 物体の浮上・搬送に成功したので報告する。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
-
福田 和人
Jr東日本
-
福田 和人
東大
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
三田 吉郎
東京大学
-
三田 吉郎
東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻
-
三田 吉郎
東大
-
三田 吉郎
東京大学大学院電気系工学専攻
-
荒井 誠
東京大学生産技術研究所
-
福田 和人
東京大学生産技術研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
三田 吉郎
東京大学大学院工学系研究科
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