B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-08-29
著者
-
河合 正昭
富士通株式会社
-
三田 信
JAXA
-
河合 正昭
(株)富士通研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
河合 正昭
株式会社富士通研究所:富士通株式会社
-
山本 毅
(株)富士通研究所
-
三田 信
宇宙航空研究開発機構
-
三田 信
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
-
山下 真司
Department Of Electrical Engineering And Information Systems University Of Tokyo
-
山下 真司
(株)富士通研究所
-
矢野 光博
アダマンド工業(株)
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
関連論文
- C-3-58 PMDC用8ch LiNbO_3導波路型偏波制御器&可変DGD光回路(補償デバイス,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- CS-7-3 高機能LN変調器(CS-7.変復調用集積光デバイスの現状と展望,シンポジウム)
- AOTFを用いた遠隔波長パス設定可能な小型光ゲートウェイ(MPλ(Lambda)S,フォトニックネットワーク/制御,光波長変換,スイッチング,PON,一般)
- AOTFを用いた遠隔波長パス設定可能な小型光ゲートウェイ
- 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- B-12-11 量子ドットレーザを用いた温度無依存10Gbps 300m-MMF伝送(B-12.フォトニックネットワーク,一般講演)
- ATM-PONシステム用高遠ビット同期LSIの開発
- MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤ熱伝導のTEM内測定
- B-10-56 ATM-PON向けPLC搭載光モジュールにおけるバースト送信方式の提案
- 加入者系光伝送用アナログフロントエンドIC
- ATM-PON用加入者側小型光モジュール
- ATM-PON用156Mb/s加入者側光モジュール
- B-7-23 光バースト・テラビット級スーパーネットワークの設計(B-7.情報ネットワーク,一般講演)
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 表面科学とMEMS
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- ATM-PON処理LSIの開発
- ATM-PONアクセス網用CLAD処理LSIの開発
- ATM-PONシステムにおける無瞬断切替え法
- ATM光パッシブ網における無瞬断切替え技術
- 折返しミラー光学系を用いた組立簡易3次元MEMS光スイッチ(光部品の実装,信頼性)
- 折返しミラー光学系を用いた組立簡易3次元MEMS光スイッチ
- 下り155Mb/s・622Mb/s共用化ATM-PON用OLT光モジュール
- B-10-58 下り155Mb/S・622Mb/S共用化ATM-P0N用OLT光モジュール
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 4023 惑星探査機搭載用レーザ測距計の走査光学系に関する研究(S61-1 宇宙システムの誘導・制御(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
- 超高速フォトニックネットワーク (特集 研究開発最前線--安心・安全で快適なユビキタス情報社会を実現する最先端技術) -- (ブロードバンド・インターネットソリューションを実現する技術)
- 次世代フォトニックIPネットワーク (特集:研究開発最前線) -- (ユビキタス社会のネットワークを支える技術)
- 下り155Mb/s・622Mb/s共用化ATM-PON用OLT光モジュール
- ATM-PON用156Mb/s局側光モジュール
- 高密度光IC用ファイバアレイOPLEAF
- C-3-61 高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(2)(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-30 光IC用高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 非対称グレーティング回折格子による平面集積形光偏向機能素子
- 静電ワブルモータの解析
- 静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作
- MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
- 薄膜トランジスタ積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法
- B-10-57 ATM-PON用LD/PD/WDM一体化光デバイスの送受間クロストーク特性
- 下り622Mb/s対応ATM-PON用同軸集積型ONU光モジュール
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- ATM-PON用局側小型光モジュール
- 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
- Si鋳型を用いた微細穴の試作
- WS.4-7 ニッケル電鋳を応用した 3 次元マイクロ構造体の作製
- マイクロマシニングとしてのニッケル電鋳技術の応用
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
- 赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
- C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
- ATM-PON対応 156Mbps CMOS-1chip バースト光受信IC
- ATM-PON用PLC ONU光モジュール
- 156Mb/s 3R 1チップCMOS光受信IC
- プラスチック光ファイバ (POF) を用いた高速光モジュールと光インタコネクション技術への応用
- 622Mb/sバースト光受信ICの検討
- 高速POFリンクを用いた多チャンネル光送受信部の検討
- 分布屈折率型全フッ素化プラスチック光ファイバを用いた1.3μm帯2.5Gb/s-200m伝送実験
- 2電極半導体レーザを用いた低電圧ギガビット光データリンクの検討
- マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
- 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
- 金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
- 1121 MEMS可動の異種物質対向探針の作製と動作のTEM観察(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- B-10-33 光バーストスイッチングの高速光パス制御技術(B-10.光通信システムB(光通信),一般講演)
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- 薄膜形状記憶合金アクチュエータの製作と応用
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
- SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
- SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
- フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減
- Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
- MEMSを用いた高速多チャネル光スイッチ(フォトニックネットワーク向けデバイス, GMPLS, 光バースト/パケットスイッチング, 一般)
- B-10-114 ATM-PONにおけるシステムAGCの一検討
- B-10-78 下り622Mb/s対応ATM-PON用ONU光モジュール
- BS-6-2 光バーストスイッチング用高速・大規模3D MEMS光スイッチ(BS-6.光バーストスイッチング技術の進展とグリッドネットワーク応用への期待, 通信2)
- 遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造
- 折返しミラー光学系を用いた組立簡易3次元MEMS光スイッチ(光部品の実装,信頼性)
- B-10-79 622Mb/sバースト光送信方式に関する検討
- マイクロ光スイッチ用垂直ミラーの作製
- 光受信部のパワーペナルティに関する一考察
- 磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
- 静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性
- マイクロマシンによる乱数の発生
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション