折返しミラー光学系を用いた組立簡易3次元MEMS光スイッチ
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概要
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小型かつ組立容易な3次元MEMS光スイッチを開発した。光スイッチ光学系を屋根型のミラーを用いて折返し構造とすることで、従来から提案されている平板型折返しミラーを用いた構造よりも光スイッチを小型化した。また、折返しミラーの実装トレランスの解析を行い、f-θレンズのビーム偏向の原理を応用した簡易アライメント手法によって、トレランスがパッシブ実装可能なまでに拡大でき、光スイッチの簡易組立が可能となることを示した。本手法により試作した光スイッチファブリックと、高速動作可能なMEMSミラーおよび制御回路により、小型、低損失、高速切替え80チャンネルMEMS光スイッチを実現した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-04-18
著者
-
河合 正昭
富士通株式会社
-
竹内 真一
(株)富士通研究所ネットワークシステム研究所
-
森 和行
(株)富士通研究所
-
河合 正昭
(株)富士通研究所
-
赤司 保
(株)富士通研究所
-
河合 正昭
株式会社富士通研究所:富士通株式会社
-
森 和行
富士通
-
森 和行
富士通(株)
-
山本 毅
(株)富士通研究所
-
山本 毅
株式会社富士通研究所富士通株式会社
-
上田 知史
(株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所
-
上田 知史
株式会社富士通研究所富士通株式会社
-
上田 知史
(株) 富士通研究所ペリフェラルシステム研究所メディアデバイス研究部
-
上田 知史
富士通株式会社
-
赤司 保
株式会社富士通研究所富士通株式会社
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