MEMS-on-LTCC技術を用いた小型チューナブルフィルタ
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概要
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- 2012-08-01
著者
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上田 知史
(株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所
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豊田 治
(株)富士通研究所
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中澤 文彦
(株)富士通研究所機能デバイス研究部:技術研究組合超先端電子技術開発機構三次元集積化技術研究部
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ミイ シヤオユウ
(株)富士通研究所機能デバイス研究部
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上田 知史
(株)富士通研究所機能デバイス研究部
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中澤 文彦
(株)富士通研究所機能デバイス研究部
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