藤田 博之 | 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

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概要

• 同名の論文著者
• 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センターの論文著者

関連著者

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学 生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所

• 石田 忠

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 藤田 博之

  東大生研

• 年吉 洋

  東京大学先端研

• 藤田 博之

  東京大学

• 角嶋 邦之

  東京大学生産技術研究所

• 橋口 原

  香川大学工学部

• 藤田 博之

  東京大学 生産技術研究所

• 川勝 英樹

  東大生研

• 川勝 英樹

  東京大学生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター

• 橋口 原

  静岡大学

• 三田 信

  JAXA

• 佐谷 大輔

  東京大学生産技術研究所

• 佐谷 大輔

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 薗部 忠

  並木精密宝石(株)

• 福島 公威

  東京大学生産技術研究所

• 中野 義昭

  東京大学先端科学技術研究センター

• 藤田 博之

  東大生産研

• 佐藤 隆昭

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 諫本 圭史

  サンテック

• 諫本 圭史

  サンテック株式会社

• 安宅 学

  東京大学・生産技術研究所

• 安宅 学

  東京大学生産技術研究所

• 中野 義昭

  東京大学先端研

• 鄭 昌鎬

  サンテック

• 竹内 昌治

  東京大学生産技術研究所

• 安井 学

  神奈川県産業技術センター

• 鄭 昌鎬

  サンテック株式会社フォトニクス研究所

• 平林 康男

  神奈川県産業技術センター

• 竹中 充

  東京大学先端科学技術研究センター

• 石田 忠

  東京大学

• 三田 信

  宇宙航空研究開発機構

• 三田 信

  宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部

• 橋口 原

  香川大学

• 広井 典良

  並木精密宝石(株)

• 平林 康男

  神奈川県産総研

• 仲島 祐樹

  東京大学

• 新田 英之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際センター

• 安井 学

  神奈川県産業技術総合研究所

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所

• 河合 正昭

  富士通株式会社

• 石黒 仁揮

  慶應義塾大学 理工学部 電子工学科

• 年吉 洋

  東京大学

• 山下 幸一

  東芝テック(株)技術本部製品開発センター

• 赤松 直樹

  東京大学生産技術研究所

• 年吉 洋

  東大生産研

• 福田 和人

  Jr東日本

• 福田 和人

  東大

• 鄭 昌鎬

  santec株式会社

• 河合 正昭

  (株)富士通研究所

• 竹中 充

  東京大学工学系研究科電気系工学専攻

• 河合 正昭

  株式会社富士通研究所:富士通株式会社

• 山本 毅

  (株)富士通研究所

• 三田 吉郎

  東京大学

• 両澤 淳

  サンテック

• 年吉 洋

  東京大学 生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 諫本 圭史

  santec株式会社

• 三田 信

  東京大学生産技術研究所

• 金 範〓

  東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 小林 大

  科学技術振興事業団

• 三田 吉郎

  東大

• 年吉 洋

  東大

• 三村 秀典

  東北大学電気通信研究所

• 生駒 俊明

  (株)テキサス・インスツルメンツ筑波研究開発センター

• 石黒 仁揮

  東京大学生産技術研究所第3部

• 生駒 俊明

  T.I.筑波研究開発センター

• 山下 真司

  Department Of Electrical Engineering And Information Systems University Of Tokyo

• 山下 真司

  (株)富士通研究所

• 矢野 光博

  アダマンド工業(株)

• 横川 隆司

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 石田 忠

  東大生産研

• 竹内 昌治

  東京大学産業科学研究所:beansプロジェクト

• 佐藤 洋一

  東京大学生産技術研究所

• 大島 伸行

  北海道大学大学院工学研究科

• 藤田 博之

  東京大

• 加藤 信介

  東京大学生産技術研究所

• 小林 大

  東京大学生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター

• 野城 智也

  東京大学生産技術研究所

• 石田 寛

  東京農工大学

• 曽根 順治

  東京工芸大学工学部

• 谷口 伸行

  北海道大学工学研究科

• 野地 博行

  大阪大学産業科学研究所生体分子エナジェティクス研究分野

• 野地 博行

  大阪大学産業科学研究所

• 水野 貴秀

  宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部

• 日比 一喜

  清水建設株式会社技術研究所

• 日比 一喜

  清水建設技術研究所

• 高橋 一浩

  東京大学生産技術研究所

• 藤井 輝夫

  東京大学生産技術研究所海中工学研究センター

• 木股 雅章

  三菱電機(株)

• 曽根 順治

  東京工芸大学 工学部

• 満淵 邦彦

  東京大学医用電子研究施設

• 田端 和仁

  大阪大学産業科学研究所生体分子エナジェティクス研究分野

• 藤田 博之

  東大・生研

• 磯野 吉正

  立命館大学理工学部

• 中村 滋男

  (株)日立製作所 機械研究所

• 宮崎 修一

  筑波大学物質工学系

• 岡部 徹

  東京大学生産技術研究所 サステイナブル材料国際研究センター

• 原 隆文

  香川大学工学部

• 久米村 百子

  LIMMS-フランス国立科学研究センター/生産技術研究所

• JALABERT Laurent

  東京大学生産技術研究所

• VOLZ Sebastian

  東京大学生産技術研究所

• BOUSCAYROL Laurent

  LAAS-CNRS ; Universite de Toulouse

• 森川 泰成

  大成建設株式会社技術センター

• 鈴木 隆文

  東京大学大学院 情報理工学系研究科

• 板谷 和彦

  (株)東芝 研究開発センター

• 森川 泰成

  大成建設株式会社

• 満渕 邦彦

  東京大学大学院情報理工学系研究科

• 大平 康隆

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 鈴木 和拓

  東芝研究開発センター

• 舟木 英之

  東芝研究開発センター

• 板谷 和彦

  東芝研究開発センター

• 山根 大輔

  東京大学

• 李 宥憲

  東京大学 生産技術研究所

• 中田 宗樹

  東京大学 生産技術研究所

• 磯野 吉正

  神戸大学

• 三田 吉郎

  東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻

• 金 範〓

  東京大学 生産技術研究所

• 磯野 吉正

  立命館大学

• 中田 宗樹

  東京大学生産技術研究所

• 中村 滋男

  東京大

• 中村 滋男

  日立機械研

• 舟木 英之

  (株)東芝 研究開発センター

• 水野 貴秀

  宇宙科学研

• 李 泰林

  東京大学先端研

• 肥後 昭男

  東京大学先端研

• 和田 恭雄

  (株)日立製作所基礎研究所

• 和田 恭雄

  日立基礎研 Crest

• 三田 吉郎

  東京大学大学院電気系工学専攻

• 三田 吉郎

  東京大学生産技術研究所3部藤田研究室

• 川井 茂樹

  東京大学生産技術研究所

• 川井 茂樹

  東大生研

• 中田 宗樹

  東京大学

• 三原 豊

  香川大学工学部知能機械システム工学科

• 日比 一喜

  清水建設株式会社 技術研究所

• 満淵 邦彦

  東京大学大学院 情報理工学系研究科

• 大島 伸行

  北海道大学 工学研究科 機械宇宙工学専攻

• 遠藤 潤二

  科学技術振興事業団crest

• 岡部 徹

  東京大学生産技術研究所

• 坂井 直道

  国際超電導産業技術研究センター

• 坂井 直道

  国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所

• 庄路 陽紀

  東京大学

• 橋口 原

  東京大学生産技術研究所

• 高橋 琢二

  東京大学生産技術研究所

• 三原 豊

  香川大学工学部

• 満淵 邦彦

  東京大学医学部附属医用電子研究施設

• 渡邉 稔之

  立命館大学理工学部

• 島本 浩司

  立命館大学理工学部

• 合田 拓史

  香川大学工学部知能機械システム工学科

• 橋口 原

  新日鉄(株)先端技術研究所

• 三村 秀典

  ATR光電波通信研究所

• 磯野 吉正

  立命館大学理工学部機械工学科

• 山田 加藤

  立教大学

• 野地 博行

  東京大学生産技術研究所

• 水野 貴秀

  Institute of Space and Astronautical Science, JAXA

• 三田 信

  神奈川県産業技術総合研究所

• 小川 実

  Tec Cop. Tokyo Japan

• 藤井 輝夫

  東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 荒井 誠

  東京大学生産技術研究所

• 中村 洋介

  東京大

• 中曽根 祐司

  金属材料技術研究所筑波支所

• 水野 貴秀

  総合研究大学院大学:宇宙航空研究開発機構

• 田村 一紀

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 久米村 百子

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 仲島 祐樹

  東京大学生産研

• 仲島 祐樹

  東大生産研

• 中村 洋介

  東京大学生産技術研究所

• 中村 滋男

  東京大学生産技術研究所

• 松永 健

  筑波大学物質工学系

• 小林 大

  東京電機大学

• 遠藤 潤二

  (株)日立製作所

• BOUROUINA Tarik

  LIMMS/CNRS, 東京大学生産技術研究所

• 小川 実

  東芝テック

• 泰井 祐輔

  東京大学生産技術研究所

• 小野 志亜之

  東京大学生産技術研究所

• SARAJLIC Edin

  トウェンテ大学MESA+研究所

• 吹野 岳生

  香川大学工学部

• 三宅 淳也

  香川大学工学部

• 中嶋 貴子

  大阪大学産業科学研究所

• RONDELEZ Yannick

  東京大学生産技術研究所LIMMS-CNRS

• TRESSET Guillaume

  東京大学生産技術研究所LIMMS-CNRS

• 中村 洋介

  東京大学理学部情報科学科

• Sarajlic Edin

  東京大学生産技術研究所

• 水野 貴秀

  Institute Of Space And Astronautical Science Jaxa

• 福田 和人

  東京大学生産技術研究所

• 望月 俊輔

  株式会社数理システム科学技術部

• 水間 俊成

  東京工芸大学工学部

• Yamahata Christophe

  東京大学生産技術研究所

• 高野 奈央

  スイス連邦工科大学ローザンヌ校 マイクロエンジニアリング学科

• BRUGGER Juergen

  スイス連邦工科大学ローザンヌ校 マイクロエンジニアリング学科

• 満渕 邦彦

  東京大学大学院 情報理工学系研究科 システム情報学専攻

• ケイザー アンドレアス

  北県電子マイクロ電子研究所

• ガルダ パトリック

  パリ第6大学

• ミルグラム モーリス

  パリ第6大学

• 大島 伸行

  北海道大学

• 三原 豊

  香川大学工学部材料創造工学科

• 飯塚 哲彦

  東京大学生産技術研究所

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著作論文

• MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤ熱伝導のTEM内測定
• MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
• 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
• CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
• 表面科学とMEMS
• 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
• 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
• MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
• 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
• C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
• プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
• 高密度光IC用ファイバアレイOPLEAF
• C-3-61 高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(2)(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
• C-3-30 光IC用高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
• 非対称グレーティング回折格子による平面集積形光偏向機能素子
• 静電ワブルモータの解析
• MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
• SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
• SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
• パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
• 薄膜トランジスタ積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法
• 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
• (マイクロマシン特集号)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
• 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
• WS.4-7 ニッケル電鋳を応用した 3 次元マイクロ構造体の作製
• マイクロマシニングとしてのニッケル電鋳技術の応用
• C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
• マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
• 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
• 金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
• 1121 MEMS可動の異種物質対向探針の作製と動作のTEM観察(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
• 薄膜形状記憶合金アクチュエータの製作と応用
• 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
• シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
• SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
• SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
• フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減
• MEMS対向探針による金ナノコンタクト接近-衝突-引張-破断実験のHRTEM観察と電流測定
• ナノギャップを有する対向針状電極のTEM内の駆動とトンネル電流測定への応用
• [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
• マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
• Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
• 超微小チャンバーによる一分子バイオケミカルアッセイ
• 1108 極微細ヒータを用いた生体分子モータの回転速度制御 : バイオ機能分子と無機微細加工構造物に融合による新機能素子の創造に向けて(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• MEMSセンサの鉄道への応用可能性
• 2A1-A09 バルクマイクロマシニングによるアレイ型エアーフローアクチェータ : 自律分散搬送システムを指向した MEMS
• 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
• 層流を用いた電気めっき法によるマイクロ構造の製作
• マイクロマシンとの集積化に適したフィードバック制御用分散型プロセッサ(マイクロマシン関連技術)
• W11(3) マイクロメカトロニクスの画像ディスプレィ応用(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
• 高温超電導体への部分的着磁ガイドを用いた磁気浮上搬送の基礎研究
• C-3-69 バーティカル・コーム型トーションミラーの水平面内安定化(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
• マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
• 第1回　生研産学共同研究の歴史を振り返る懇談会 : （生研アーカイバル懇談会）
• 液体ヘリウム温度における極低温構造材料の電磁衝撃破壊
• MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
• マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般)
• マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
• メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
• MNM-2B-2 MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
• MNM-2B-1 MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観察及び力計測(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
• F-1 MEMS銀探針のナノせん断破壊に伴う界面変形の実時間TEM観測(マイクロナノ理工学)
• B-3 ホットスイッチングによるMEMSスイッチ表面におけるナノスケール形状変化の実時間観察(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
• シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察 (特集 Au/Si界面の科学)
• シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察

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