MEMS対向探針による金ナノコンタクト接近-衝突-引張-破断実験のHRTEM観察と電流測定
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概要
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The approach-contact-deformation-fracture process at a gold nano contact using a micromachined device was successfully observed in a high resolution transmission electron microscope (HRTEM). MEMS opposing tips (a movable tip with a pair of electrostatic actuators and a fixed tip) was inserted into a HRTEM chamber. When the movable tip was approached to the fixed tip within 1 nm, gold nano contact was formed with 1 V bias voltage. The gold nano contact was thinned by retraction and finally fractured. The series of the formation, retraction and fracture were observed in an atomic scale.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-09-01
著者
-
石田 忠
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
角嶋 邦之
東京大学生産技術研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
石田 忠
東京大学生産技術研究所
-
角嶋 邦之
東京大学生産技術研究所 藤田博之研究室
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