神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ

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概要

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• In order to realize long-term stable multi-channel neural recording, a micro probe array based on a flexible polyimide substrate was designed and fabricated. Each probe was formed by etching a silicon wafer using a Deep RIE equipment. This type of flexible microelectrode can be attached around the soft nervous tissue. This paper shows the fabrication process and the analysis on the flexibility of the electrode to estimate the utility for the application to tissues (brain, nerve, retina, and so on).

• 社団法人 電気学会の論文
• 2003-12-01

著者

• 竹内 昌治

  東京大学生産技術研究所

• 赤松 直樹

  東京大学生産技術研究所

• 満淵 邦彦

  東京大学医用電子研究施設

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 鈴木 隆文

  東京大学大学院 情報理工学系研究科

• 満渕 邦彦

  東京大学大学院情報理工学系研究科

• 金 範〓

  東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 満淵 邦彦

  東京大学大学院 情報理工学系研究科

• 満淵 邦彦

  東京大学医学部附属医用電子研究施設

• 満渕 邦彦

  東京大学大学院 情報理工学系研究科 システム情報学専攻

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 金 範〓

  東京大学生産技術研究所

• 満渕 邦彦

  東京大学大学院

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