2P1-3F-G7 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
活動中の生体において, 低侵襲で安定した神経電位計測のため, フレキシブル基板を持つ微小剣山型電極を, MEMS技術により製作した。ポリイミド薄膜をスピンコートしたシリコンウェハに, DeepRIEを用いてプローブアレイを形成し, 剣山型電極の柔軟性を向上させた。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
-
藤田 博之
東大生研
-
赤松 直樹
東京大学生産技術研究所
-
満渕 邦彦
東大先端研
-
鈴木 隆文
東大情理
-
金 範俊
東大生研
-
満淵 邦彦
東京大学大学院 情報理工学系研究科
-
満渕 邦彦
東大
-
竹内 昌治
東大生研
-
赤松 直樹
東大生研
関連論文
- 液体誘電泳動によるDNA液滴形成の最適化
- 1120 MEMSピンセットを用いたHBCナノチューブの捕獲(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 2113 MEMSピンセットを用いた長鎖高分子捕獲方法の最適化(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 2112 Integration of closed microfluidics and open droplet actuation on a single lab-on-a-chip device
- 義手制御に向けた針筋電信号による手指状態推定 : 単収縮モデルを用いた推定手法の提案
- 義手制御に向けた針筋電信号による手指状態推定 : 単収縮モデルを用いた推定手法の提案(BCI/BMIとその周辺,一般)
- 経皮的拍動流左心補助循環装置の臨床応用にむけての改良: MAD Type-4の開発と評価
- 高圧酸素療法が損傷軟部組織治癒に与える温熱・血流的効果に関する研究
- シリコンナノピンセットを用いたDNA酵素反応のメカニカルセンシング
- 2点での腱振動刺激によって生成される運動感覚に関する基礎的研究
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- 生体信号を用いた運動機能アシストシステムの開発 : 関節パラメータを推定するための表面筋電信号処理(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス3)
- 自重支持機能を備えた歩行アシストシステムに関する基本検討(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス2)
- 遠隔地ハンドからの触覚情報を人間の触覚神経系経由により提示するシステムの開発
- 2P2-E08 ロボットハンドからの接触感覚を触覚神経系経由により提示するシステムの開発
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- ツリガネムシを駆動源とするマイクロシステム (特集 工学とバイオ)
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- マイクロ流体デバイスによるツリガネムシの生体アクチュエータの制御
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 静電駆動型大面積MEMSにおける消費電力
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- ツリガネムシを駆動源とするMEMS作製のためのツリガネムシへの人工物接着
- フォーク型カンチレバーインスリンセンサー
- 表面科学とMEMS
- センサ・マイクロマシンのバイオ分野への展開 : バイオ・マイクロシステム技術委員会の新設
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- 熱蒸着及びKOH溶液エッチングを用いたナノスケール流路製作及びDNA分子挙動特性観察への応用
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- 小角X線散乱強度計算とMM2の医用生体材料の構造解析への応用
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 発火確率モデルを用いた無入力条件下での培養神経細胞ネットワークの結合強度解析
- ツリガネムシで駆動するMEMSの実現に向けて : ツリガネムシの力学特性計測とMEMS一体化プロセスの基礎検討
- 針筋電信号と単収縮畳み込みモデルによる手指筋の等尺性収縮時張力の推定
- 1106 ナノワイヤの電気機械計測 : Pdナノ粒子で修飾されたlambda-DNAワイヤの特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 流路構造を備えた神経再生型電極の開発 : 軸索再生の評価と電極配置の検討
- Parylene を用いた柔軟型グルタミン酸センサの試作
- 神経電極へのマイクロダイアリシス機能付加の試み
- 束状微小流路を利用した神経再生型電極の開発
- 微小流路を利用した神経再生型電極の開発
- MEMS技術による光ファイバ内視鏡--マイクロミラーによる医療用内視鏡の小型化 (特集 光MEMSの現状と展望)
- 1018 針筋電信号による指の動作推定 : 末梢神経信号による義手制御を目指して(OS28-2:最近の筋活動計測とその応用2)
- 腱振動刺激により生成される運動感覚の明瞭化のための刺激条件の検討
- レバー押しに同期した電気刺激によるラット一次運動野における可塑的変化の誘発の検討
- 腱振動刺激によって生起される運動感覚に関する研究
- ラット搭載車体型BMI「ラットカー」の開発 : 広域多点神経電極による歩行関連情報の抽出
- 線形相関モデルを用いた運動野神経信号によるラット歩行状態推定
- スパイクソーティングにおけるテンプレートマッチングの高速化
- ラット大脳皮質の神経信号取得に適した埋め込み型多点電極アレイの開発
- Si鋳型を用いた微細穴の試作
- 226 細胞熱計測のための微小熱電対プローブの開発
- 435 静電スプレーによるタンパク質薄膜と SU-8 カンチレバーを用いた新しいバイオセンサ
- マイクロマシン・MEMSの研究動向--ナノ微細加工からセンサやバイオへの応用まで
- ロボットとロボット工学の未来
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- TiNi合金薄膜のパターニングの検討
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
- 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
- 生体分子モータを利用した分子ソーターの基礎検討
- 2P1-3F-G8 ナノ搬送システムのための生体分子モータ制御
- 層流を用いた電気めっき法によるマイクロ構造の製作
- 1204 回転シートによる快適性向上に関する研究(OS1-1:乗心地・快適性,OS1:交通・物流システムの高速化,利便性,快適性の向上,オーガナイズド・セッション(OS),第18回交通・物流部門大会(TRANSLOG2009))
- 遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造
- 2P1-3F-G7 神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ
- 大面積MEMS技術と整合する黒板型ディスプレイの製作と評価 (IMAGING TODAY 電子ペーパーの最新応用技術)
- 高温超電導磁気浮上を用いたマイクロX-Y-θ搬送アクチュエータの動作特性
- 201 細胞熱計測のための微小熱電対プローブの開発とその応用(OS1-04 : 生体マイクロ・ナノ新技術(1),マイクロ・ナノバイオメカニクス)
- 428 細胞レベルの熱計測技術
- マイクロ光スイッチ用垂直ミラーの作製
- MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- マイクロ高速加熱デバイスを用いる生体分子挙動の顕微鏡下ミリ秒計測
- 2A1-F03 パリレン保護によるSi細線MEMS変調素子の作製方法の検討(MEMSとナノテクノロジー)
- 電解エッチングとFIBによる高アスペクト比キャピラリアレイの加工
- MEMSと次世代ナノテクノロジー(ナノメカ技術,次世代ナノテクノロジー論文)
- C-3-28 MEMS光駆動型ファイバ内視鏡によるOCT観察(光計測・センシング(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 26a-G-1 分子機械の確率共鳴の動力学
- MNM-P6-4 ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化と電極改善(P6 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー)
- MNM-2B-2 MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-2B-1 MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観察及び力計測(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)
- D-5 ロータリーステッパーモーターにおける共振・変位特性を考慮した簡易解析モデルの検討(情報機器コンピュータメカニクス)
- B-1 ナノサイズプローブ先端の電気的コンタクト特性(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- 光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのCMOSポストプロセス作製
- エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用(機構デバイス)
- (16)ナノスケールプローブ先端の電気的コンタクト特性(論文,日本機械学会賞〔2012年度(平成24年度)審査経過報告〕)
- 水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法(マイクロ波,ミリ波)