プラズマエッチングによるガラス表面のナノ段差形成(<特集>プロダクションテクノロジー研究会)
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概要
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本研究では生体に不活性な材料のより簡便なナノ加工技術の構築及びその微細構造物と生体分子の融合を目標とし、プラズマエッチングを利用したガラス表面の簡便なナノ段差作製方法を提案する。今回、報告する方法では容量結合型プラズマの酸素プラズマを用いてガラス表面に垂直方向約10 nmの落差の段差が容易に作製でき、poly(dimethylsiloxiane)によってモールディングが可能である。はじめにフォトリソグラフィーによるパターニングをマスクとして利用したエッチング結果を報告し、更にナノ段差の水平方向の微細化のために微粒子をマスクに利用するというアプローチをとった結果について述べる。
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