非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
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概要
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We have developed micro mechanical variable optical attenuators (VOA) using an electrostatic micro torsion mirror combined with fiber-optic collimators. For the sake of high productivity and high mechanical reliability, we have designed ASymmetricaly driven Parallel plate (ASP) Tilt Mirror (TM). The structure of ASP-type TM is very simple and it can be made by using bulk micromachining of SOI wafer. As a result, we have successfully downsized the VOA package to 5.6 mm in diameter and 23 mm in length. Optical performance is excellent for the optical communication network, small insertion loss of 0.8 dB and polarization dependent loss of 0.2 dB have been obtained.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-06-01
著者
-
鄭 昌鎬
サンテック株式会社フォトニクス研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
両澤 淳
サンテック
-
諫本 圭史
サンテック
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所
-
諫本 圭史
サンテック株式会社
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
鄭 昌鎬
サンテック
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
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