浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- C-3-75 誘電体多層膜フィルタによる4ポート-マルチチャネルチューナブルアッドドロップ
- C-3-51 光分岐機能付きPDモジュールの多機能化
- C-3-50 8連光分岐機能付きPDモジュール
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術 (特集 プロセス技術)
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術
- 高速MEMSスキャナを用いた次世代SS-OCT用波長走査型光源 (特集 進展する光応用バイオMEMSデバイス)
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- C-3-28 MEMS光駆動型ファイバ内視鏡によるOCT観察(光計測・センシング(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源
- 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源