C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-03-03
著者
-
鄭 昌鎬
サンテック株式会社フォトニクス研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
両澤 淳
サンテック
-
諫本 圭史
サンテック
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所
-
諫本 圭史
サンテック株式会社
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
鄭 昌鎬
サンテック
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
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