<研究速報> SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
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概要
著者
-
山下 幸一
東芝テック(株)技術本部製品開発センター
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
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年吉 洋
東京大学生産技術研究所
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藤田 博之
東京大学生産技術研究所
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