2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-03-10
著者
-
年吉 洋
東京大学
-
高橋 一浩
東京大学生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
李 鐘〓
光州科学技術院
-
権 鎬楠
光州科学技術院
-
権 鎬楠
神奈川科学技術アカデミー
-
高橋 一浩
豊橋技科大
関連論文
- B-1-175 実用的な能動形フェーズドアレーアンテナの研究開発計画(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般講演)
- 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- Best Shot 写真でひもとく未来材料 曲げられる書き換えできるマイクロマシンポスター
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 圧電MEMS光スキャナによる画像ディスプレイ
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- シリコン細線光導波路を用いたフォトニックMEMS変調素子の設計と作製方法
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究
- 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
- マイクロ・ナノメカトロニクス
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
- 積層型マイクロ流路ミキサーを用いた多対少量混合
- B-1-171 高密度実装した間引き給電・能動型位相配列アンテナAPAA(B-1.アンテナ・伝播C(アンテナシステム),一般セッション)
- MEMS技術による光ファイバ内視鏡--マイクロミラーによる医療用内視鏡の小型化 (特集 光MEMSの現状と展望)
- LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作
- 液中でのレーザー励起プラズマによる3次元カラー画像表示器
- MEMS集積化フォトニック結晶導波路の作製と評価(半導体レーザ関連技術, 及び一般)
- MEMS-フォトニック結晶機能素子の作製方法
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
- 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
- 赤外分光天体望遠鏡用マイクロシャッタアレイの試作
- C-2-78 Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
- SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
- SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
- [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般)
- 2005 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 報告
- 2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS 報告
- MEMS光ファイバスイッチのデバイス設計小論 (マイクロ・ナノメカトロニクス)
- (マイクロマシン特集号)
- 大面積MEMS技術と整合する黒板型ディスプレイの製作と評価 (IMAGING TODAY 電子ペーパーの最新応用技術)
- W11(3) マイクロメカトロニクスの画像ディスプレィ応用(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
- プラスチックMEMS技術を用いた透過型カラーディスプレイ
- 大面積MEMS技術に整合した黒板型リライタブルディスプレイ
- シリコン細線導波路とMEMSを融合した光変調素子の作製方法
- C-3-69 バーティカル・コーム型トーションミラーの水平面内安定化(光スイッチ)(C-3.光エレクトロニクス)
- Vertical Comb 型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用
- 磁気ディスクヘッド素子駆動用静電マイクロアクチュエータ
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
- シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
- MEMS技術の光ファイバ内視鏡応用 (特集 光MEMS技術の新展開)
- 国際会議報告：IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2010
- マイクロマシンによる乱数の発生
- 2A1-F03 パリレン保護によるSi細線MEMS変調素子の作製方法の検討(MEMSとナノテクノロジー)
- 24・6 RF-MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 光アドレシングによる微小構造体アレイの非接触駆動
- SOI基板によるマイクロレンズ光スキャナの製作
- C-3-28 MEMS光駆動型ファイバ内視鏡によるOCT観察(光計測・センシング(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-5-1 光MEMS技術の実用化に関する先駆的研究(C-5.機構デバイス,一般セッション)
- C-3-49 光ファイバ通信におけるMEMS技術(光スイッチ・変調器(1),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- MEMS技術の光ファイバコンポーネントへの新展開
- 静電マイクロアクチュエータの駆動機構と設計限界
- MEMS光スイッチの最近の話題
- IEEE/LEOS Summer Topical Meetings on Optical MEMS (MOEMS98)報告
- 光MEMS--通信応用から画像応用へ (特集 光マイクロ・ナノマシン)
- プラスチックMEMS技術によるカラーピクセル (特集1 2007年・FPDの市場と技術展望)
- マイクロメカニカル光デバイス
- 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (電子デバイス)
- 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (電子部品・材料)
- 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (シリコン材料・デバイス)
- 印刷技術によるフレキシブルMEMSカラーピクセル(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
- 電気回路シミュレータによるMEMSアクチュエータ・センサの等価回路モデル(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
- 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
- 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
- MEMS技術で夢のあるエレクトロニクスを (駒場リサーチ キャンパス公開講演)
- 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
- エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用(機構デバイス)
- 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源
- MEMS光スキャナの画像ディスプレィ応用 : MEMSがコモディティ化したあとの応用も含めて(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
- 圧電フィルムによるエネルギーハーベスティングと2V有機トランジスタ回路を搭載した靴の中敷き型万歩計(エナジーハーベスティング・電源・ドライバ,低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- 圧電フィルムによるエネルギーハーベスティングと2V有機トランジスタ回路を搭載した靴の中敷き型万歩計(エナジーハーベスティング・電源・ドライバ,低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用
- 11-3 撮像デバイスの3 次元集積化に向けた要素技術の開発(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)
- 水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法(マイクロ波,ミリ波)
- アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討